Patent search ap:("株式会社新柯隆") AND inv:"尹诗流" Page 1

1.

实用新型
成膜装置有权

公开(公告)号：CN209065995U

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201821666566.8

申请日：2018-10-15

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 长江亦周 , 尹诗流 , 马图腾 , 宫内充祐

IPC: C23C14/24

Abstract: 本申请公开一种成膜装置，包括：真空容器；位于所述真空容器内的基板支架，其具有用于保持基板的基板保持面；位于所述真空容器内的成膜单元，其用于在所述基板上形成薄膜；位于所述真空容器内的照射单元，其用于向所述基板支架发射粒子；所述照射单元能使所述基板保持面的电位状态为单一电位。本申请提供的成膜装置在成膜过程中不会产生异常放电，保证薄膜形成过程的稳定，提升成膜质量。

Patent Agency Ranking