公开(公告)号：CN105324513B

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201580000971.9

申请日：2015-06-02

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 石井孝宣 ,  千叶幸喜 ,  佐藤康弘

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/24

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/50

Abstract: 提供能够通过简单的作业实现借助于行星齿轮旋转的基板成膜的可搬型旋转装置及成膜装置。可搬型旋转装置(11)由如下部分构成：旋转拱顶(21)，其通过设置于真空蒸镀装置(1)的伺服马达(M)进行旋转；基板支架(12)，其以能够旋转的方式被支承在旋转拱顶(21)上，被成膜基板(14)载置于该基板支架(12)；内框(11a)，其经公转齿轮用轴承而被安装在旋转拱顶(21)上；外框(24)，其配设在内框(11a)的外侧，形成为与基板支架(12)的外周侧啮合；以及连结臂(41)，其将内框(11a)和外框(24)连结起来。旋转拱顶行旋转，基板支架(12)由旋转拱顶(21)保持在公转轴线(R1)的周围并被支承成能够以行星齿轮机构的自转轴线(R2)为中心进行旋转。(21)以行星齿轮机构的公转轴线(R1)为中心进

公开(公告)号：CN105324513A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201580000971.9

申请日：2015-06-02

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 石井孝宣 ,  千叶幸喜 ,  佐藤康弘

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/24

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/50

Abstract: 提供能够通过简单的作业实现借助于行星齿轮旋转的基板成膜的可搬型旋转装置及成膜装置。可搬型旋转装置(11)由如下部分构成：旋转拱顶(21)，其通过设置于真空蒸镀装置(1)的伺服马达(M)进行旋转；基板支架(12)，其以能够旋转的方式被支承在旋转拱顶(21)上，被成膜基板(14)载置于该基板支架(12)；内框(11a)，其经公转齿轮用轴承而被安装在旋转拱顶(21)上；外框(24)，其配设在内框(11a)的外侧，形成为与基板支架(12)的外周侧啮合；以及连结臂(41)，其将内框(11a)和外框(24)连结起来。旋转拱顶(21)以行星齿轮机构的公转轴线(R1)为中心进行旋转，基板支架(12)由旋转拱顶(21)保持在公转轴线(R1)的周围并被支承成能够以行星齿轮机构的自转轴线(R2)为中心进行旋转。