公开(公告)号：CN104797826A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380060293.6

申请日：2013-03-14

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 税所慎一郎

IPC: F04F9/00

CPC classification number: F23D91/04 ,  F04F5/20 ,  F04F5/40 ,  F04F9/00 ,  F24H2250/08 ,  H05B6/108 ,  F04B37/02 ,  F04B37/06 ,  F04B37/14

Abstract: 提供一种油扩散泵，其具有能够解决使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。该油扩散泵为真空泵，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，使该油蒸气产生器(70)工作以使工作油(8)气化而成为油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去，并对吸入的气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具有：容器(71、72)，其在立起设置方向上延伸，且使由被加热材料构成的筒部件(71)的下端封闭，用于在内部贮油；感应线圈(75)，其隔着绝缘材料(73)缠绕于筒部件(71)(尤其是外壳内壁71b)的大气侧周围；以及供电单元，其对感应线圈(75)施加数10Hz至数100Hz的低频交流电。而且，构成为，通过使供电单元工作并对线圈(75)施加低频交流电，由此使筒部件(71)自身加热，使容器内的油气化。

公开(公告)号：CN110637103A

公开(公告)日：2019-12-31

申请号：CN201880001742.2

申请日：2018-04-20

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 税所慎一郎

IPC: C23C14/34

Abstract: 本发明具备：成膜室(11)；基板支托(12)，其设置于上述成膜室，对进行成膜的基板S进行保持；减压机(13)，其将上述成膜室减压至规定压力；放电气体导入机(15)，其将放电气体导入至上述成膜室；与一个上述基板对置的两个以上的溅射电极(18、19)，它们分别具备作为成膜材料的靶材(T1、T2)；直流电源(20)，其对上述两个以上的溅射电极供给电力；两个以上的脉冲波转换开关(22、23)，它们连接在上述直流电源与上述两个以上的溅射电极之间，将施加至各个溅射电极的直流电压转换成脉冲波电压；可编程发送器(24)，其能够将与供给至上述两个以上的溅射电极的各个电力相对应的脉冲产生控制信号图案编程，按照该编程，分别对上述两个以上的脉冲波转换开关进行控制；和脉冲反应气体导入机(17)，其基于来自上述电力控制器的脉冲产生控制信号图案，对从上述反应气体导入机向上述成膜室的反应气体的导入进行控制。

公开(公告)号：CN104797826B

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201380060293.6

申请日：2013-03-14

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 税所慎一郎

IPC: F04F9/00

CPC classification number: F23D91/04 ,  F04F5/20 ,  F04F5/40 ,  F04F9/00 ,  F24H2250/08 ,  H05B6/108

Abstract: 提供一种油扩散泵，其具有能够解决使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。该油扩散泵为真空泵，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，使该油蒸气产生器(70)工作以使工作油(8)气化而成为油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去，并对吸入的气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具有：容器(71、72)，其在立起设置方向上延伸，且使由被加热材料构成的筒部件(71)的下端封闭，用于在内部贮油；感应线圈(75)，其隔着绝缘材料(73)缠绕于筒部件(71)(尤其是外壳内壁71b)的大气侧周围；以及供电单元，其对感应线圈(75)施加数10Hz至数100Hz的低频交流电。而且，构成为，通过使供电单元工作并对线圈(75)施加低频交流电，由此使筒部件(71)自身加热，使容器内的油气化。

公开(公告)号：CN106104009B

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201480077167.6

申请日：2014-06-24

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 税所慎一郎

IPC: F04F9/00

CPC classification number: F04F5/54 ,  F04F5/20 ,  F04F5/40 ,  F04F5/44 ,  F04F9/00

Abstract: 提供一种油扩散泵，其具备可消除在使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。一种真空泵，其中，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，通过使该油蒸气产生器(70)工作来使工作油(8)气化从而产生油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去而对吸入气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具备：在立起设置方向上延伸的筒状的外壳(71)(被加热体)；隔着绝缘材料(73)缠绕在筒部件(71)的周围的感应线圈(75)；以及对感应线圈(75)施加交流电的供电单元。外壳(71)和感应线圈(75)以浸渍于储存在壳体(51)内的工作油(8)中的配置被组装于壳体。并且，构成为，通过使供电单元工作而对感应线圈(75)施加交流电，由此使外壳(71)自身加热，从而使工作油(8)气化。

公开(公告)号：CN110637103B

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN201880001742.2

申请日：2018-04-20

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 税所慎一郎

IPC: C23C14/34

Abstract: 本发明具备：成膜室；基板支托，其设置于上述成膜室，对进行成膜的基板S进行保持；减压机，其将上述成膜室减压至规定压力；放电气体导入机，其将放电气体导入至上述成膜室；与一个上述基板对置的两个以上的溅射电极，它们分别具备作为成膜材料的靶材；直流电源，其对上述两个以上的溅射电极供给电力；两个以上的脉冲波转换开关，它们连接在上述直流电源与上述两个以上的溅射电极之间，将施加至各个溅射电极的直流电压转换成脉冲波电压；可编程发送器，其能够将与供给至上述两个以上的溅射电极的各个电力相对应的脉冲产生控制信号图案编程，按照该编程，分别对上述两个以上的脉冲波转换开关进行控制；和脉冲反应气体导入机，其基于来自上述电力控制器的脉冲产生控制信号图案，对从上述反应气体导入机向上述成膜室的反应气体的导入进行控制。

公开(公告)号：CN106104009A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201480077167.6

申请日：2014-06-24

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 税所慎一郎

IPC: F04F9/00

CPC classification number: F04F5/54 ,  F04F5/20 ,  F04F5/40 ,  F04F5/44 ,  F04F9/00

Abstract: 提供一种油扩散泵，其具备可消除在使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。一种真空泵，其中，在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70)，通过使该油蒸气产生器(70)工作来使工作油(8)气化从而产生油蒸气，将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去而对吸入气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具备：在立起设置方向上延伸的筒状的外壳(71)(被加热体)；隔着绝缘材料(73)缠绕在筒部件(71)的周围的感应线圈(75)；以及对感应线圈(75)施加交流电的供电单元。外壳(71)和感应线圈(75)以浸渍于储存在壳体(51)内的工作油(8)中的配置被组装于壳体。并且，构成为，通过使供电单元工作而对感应线圈(75)施加交流电，由此使外壳(71)自身加热，从而使工作油(8)气化。