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实用新型
靶材溅射装置及其成膜装置有权

公开(公告)号：CN211522309U

公开(公告)日：2020-09-18

申请号：CN202020180266.X

申请日：2020-02-18

Applicant: 株式会社新柯隆

Inventor： 长江亦周 , 菅原卓也 , 宫内充祐 , 山本摄也

IPC: C23C14/34 , C23C14/35

Abstract: 本申请公开一种靶材溅射装置，包括：用于支撑靶材的支撑壳体；所述支撑壳体背对所述靶材的一侧设有两个或更多个用于输入溅射气体的气体输入部；所述支撑壳体设有所述靶材的一侧具有用于输出所述溅射气体的气体输出部；至少两个所述气体输入部位于所述支撑壳体的不同位置。本申请所提供的一种靶材溅射装置及其成膜装置能够在校正膜厚的基础上，避免降低溅射效率。

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