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    電子顕微鏡
    3.
    发明专利
    電子顕微鏡 审中-公开

    公开(公告)号：JP2019124492A

    公开(公告)日：2019-07-25

    申请号：JP2018003725

    申请日：2018-01-12

    Applicant: 株式会社日立製作所

    Inventor： 高口 雅成 ,  阿南 義弘

    IPC: G01N23/2252

    Abstract: 【課題】電子線の入射角度を2次元方向に変化させたとしても、電子線の侵入長とX線の横断長ができる限り変化しないようにする。 【解決手段】本発明に係る電子顕微鏡は、第1方向から電子線を照射したとき試料内を前記電子線が通過する第1距離と、第2方向から前記電子線を照射したとき前記試料内を前記電子線が通過する第2距離とが互いに等しい形状を有する試料を計測する。X線検出器は、前記第1および第2方向それぞれにおいて前記電子線を照射したとき前記試料から放出されるX線を検出する。 【選択図】図5

    置換サイト計測装置および置換サイト計測方法
    5.
    发明专利
    置換サイト計測装置および置換サイト計測方法 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2018020565A1

    公开(公告)日：2018-10-04

    申请号：JP2016071810

    申请日：2016-07-26

    Applicant: 株式会社日立製作所

    Inventor： 阿南 義弘 ,  高口 雅成

    IPC: G01N23/2252

    CPC classification number: G01N23/225

    Abstract: 電子線を用いた置換サイト計測装置において、試料内で生じる回折X線のX線強度を低減または無くし、マイクロメートルからナノメートルオーダー領域の置換サイト構造解析を高精度に行う。電子線を試料に照射し、試料から発生するX線をX線検出器で検出することにより結晶の置換サイトを計測する置換サイト計測装置であって、試料の結晶構造、検出するX線のエネルギーまたはX線の波長、試料の傾斜角度、試料とX線検出器との位置情報を入力する入力部と、前記入力部に入力した各パラメータから、回折X線の前記X線検出器への入射を算出する回折X線入射算出手段と、前記回折X線入射算出手段が算出した回折X線の前記X線検出器への入射に応じて、回折X線が前記X線検出器へ入射しないように測定条件を設定する測定条件設定手段と、電子線の傾斜と同期してX線を検出する電子線傾斜/X線検出制御部と、を備える。

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