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公开(公告)号：CN106165055B
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201480077921.6
申请日：2014-03-10
Applicant: 牛津仪器纳米技术工具有限公司
Inventor： 弗兰克·维利·鲍尔
IPC: H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/295 , H01J37/305 , G01N23/20
CPC classification number: G01N23/20058 , G01N23/20025 , G01N23/203 , G01N23/2055 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/2955 , H01J37/3056 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20221 , H01J2237/24578 , H01J2237/2544 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供一种用于在显微镜的真空腔体中对样品进行电子衍射图案分析的方法。首先，使用聚焦粒子束从试样的一部分中隔离出样品。然后，将操纵器端部执行器附接至样品，以在端部执行器与样品之间实现预定取向。在样品被分离的情况下，操纵器端部执行器相对于电子束和衍射图案成像设备围绕旋转轴线旋转，以使样品形成为预定几何关系，使得能够在样品仍然被固定在操纵器端部执行器上的同时从样品中得到电子衍射图案。使电子束撞击到附接在操纵器端部执行器上的样品，从而得到电子衍射图案。
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公开(公告)号：CN102364659A
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201110202904.9
申请日：2006-11-15
Applicant: 阿利斯公司
Inventor： 比利.W.沃德 , 约翰.A.诺特四世 , 路易斯.S.法卡斯三世 , 兰德尔.G.珀西瓦尔 , 雷蒙德.希尔 , 亚历山大.格罗霍尔斯基 , 理查德.科穆纳尔 , 肖恩.麦克唯伊 , 约翰尼斯.比尔
CPC classification number: H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
Abstract: 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN107068525A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710317544.4
申请日：2017-05-08
Applicant: 中国科学院武汉物理与数学研究所
IPC: H01J37/16 , H01J37/22 , H01J37/252
CPC classification number: H01J37/252 , H01J37/16 , H01J37/22 , H01J2237/162 , H01J2237/2482
Abstract: 本发明公开了一种用于真空环境下产生原子蒸气束的装置，包括样品，还包括炉管，炉管一端为封闭端，炉管另一端为开口端，样品设置在炉管内，炉管外壁螺旋缠绕有钨丝，陶瓷套管罩设在炉管上，遮光外层包覆陶瓷套管的侧部和两端，遮光外层上设置有用于炉管内的原子蒸气束出射的开口，钨丝的两端穿出陶瓷套管和遮光外层。本发明装置可以通过提供较小的加热电流而达到较高的温度从而产生所需样品原子蒸气束，此装置可以准直的固定，使产生的蒸气束较准确集中到达所需位置，另外可以减小光噪声本底。
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公开(公告)号：CN106829855A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201611153306.6
申请日：2016-12-14
Applicant: 佛山旋疯纳米科技有限公司
IPC: B82B3/00 , H01J37/252 , B82Y40/00 , B82Y35/00
CPC classification number: B82B3/0004 , B82B3/0085 , B82Y35/00 , B82Y40/00 , H01J37/252
Abstract: 本发明提供了一种团簇离子束纳米加工设备，包括进料装置、分级负压发生器、主轴电机、压力腔、物料预处理单元、纳米团簇离子束单元、纳米团簇粒径实时检测单元、出料装置以及电气控制系统；还提供了一种团簇离子束纳米加工方法，包括对所述物料进行预处理，研磨成游离磨料；实时检测所述游离磨料粒径，当所述游离磨料达到亚微米级时，进行偏转、加速和对撞加工，分解成纳米团簇；实时检测所述纳米团簇粒径，满足设定条件时进行卸料。本发明通过实时检测纳米团簇粒径，保证了纳米团簇粒径的一致性和稳定性；采用游离磨料预处理和纳米团簇的能量束碰撞相结合的加工方式，保证纳米材料的粒径和纯度要求，最大限度地减少组份偏差和物相污染。
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公开(公告)号：CN104345331A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201310313572.0
申请日：2013-07-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01T1/32
CPC classification number: H01J37/29 , H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/252 , H01J2237/24557 , H01J2237/2544
Abstract: 本发明提供一种图像型电子自旋分析器。所述图像型电子自旋分析器至少包括：散射靶、二维图像型电子探测器、以及电子弯转单元；其中，电子弯转单元用于使入射电子聚焦后弯转第一角度后、以最优入射角聚焦入射至散射靶以及使散射靶散射出的出射电子聚焦后弯转第二角度后、以最优出射角聚焦出射至二维图像型电子探测器，且入射电子的运动轨道与出射电子的运动轨道分离，第一角度及第二角度中至少一者不为00；从而可以分别实现电子自旋分析器初始平面处电子图像到靶平面的第一次二维成像及从靶平面到二维图像型电子探测器平面的第二次二维成像，进而实现电子自旋的多通道测量；而且电子弯转单元的引进可以增加自旋分析器各个组件的几何配置的自由度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102324365B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201110273451.9
申请日：2006-11-15
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： 比利.W.沃德 , 约翰.A.诺特四世 , 路易斯.S.法卡斯三世 , 兰德尔.G.珀西瓦尔 , 雷蒙德.希尔 , 拉斯.马克沃特 , 德克.阿德霍尔德
CPC classification number: H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
Abstract: 本申请公开了一种离子源、系统和方法。该系统包括：气体场离子源，能够与气体相互作用从而产生与样品相互作用的离子束，从而引起二次离子离开所述样品；至少一探测器，被配置使得在使用期间，所述至少一探测器可以探测至少一些所述二次离子；电子处理器，电连接至所述至少一探测器，使得在使用期间，所述电子处理器可以根据所述被探测的二次离子而处理信息，以便确定所述样品的信息；其中所述离子束在所述样品的表面具有10nm或更小的尺寸的斑点尺寸。
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公开(公告)号：CN101882551A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010151355.2
申请日：2006-11-15
Applicant: 阿利斯公司
Inventor： 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔
IPC: H01J37/08 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/305 , H01J37/317
CPC classification number: H01J9/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J37/3174 , H01J2237/024 , H01J2237/0807 , H01J2237/202 , H01J2237/20228 , H01J2237/20264 , H01J2237/2566 , H01J2237/2623 , H01J2237/2812 , H01J2237/30438 , H01J2237/30477 , H01J2237/31737 , H01J2237/3174 , H01J2237/31755
Abstract: 公开了离子源、系统和方法。
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公开(公告)号：CN104217918B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201410365969.9
申请日：2014-05-15
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC: H01J49/28
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/244 , H01J37/252 , H01J49/022 , H01J49/027 , H01J49/424 , H01J2237/028 , H01J2237/057
Abstract: 本发明涉及一种用于质量筛选地确定至少一个离子或多个离子的装置。把根据本发明的装置应用在例如具有离子阱(1404)的测量装置中。离子阱(1404)包括具有第一开口的环形电极(1401)。第一电极(1402)安置在第一开口上。此外设置用于为离子阱(1404)提供高频储存信号的放大器(1408)和第一变压器(1411)，第一变压器(1411)与放大器(1408)和第一电极(1402)如此地连接，使得高频储存信号通过第一变压器(1411)被耦合进第一电极(1402)。
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公开(公告)号：CN106829856A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201611155530.9
申请日：2016-12-14
Applicant: 佛山旋疯纳米科技有限公司
IPC: B82B3/00 , H01J37/252 , B82Y40/00 , B82Y35/00
CPC classification number: B82B3/0004 , B82B3/008 , B82B3/0085 , B82Y35/00 , B82Y40/00 , H01J37/252
Abstract: 本发明提供了一种团簇离子束纳米加工设备控制装置及其控制方法，包括系统控制板、人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块，所述人机交互模块、过程控制模块、数据采集模块、纳米加工控制模块以及物料输送模块分别与所述系统控制板电连接；还提供了一种团簇离子束纳米加工设备的控制方法，包括对纳米材料的参数进行设置；实时管理并以并行处理方式执行加工工序；实时检测纳米团簇粒径，满足设定条件时进行卸料。本发明提供的团簇离子束纳米加工设备控制装置及控制方法实现了纳米团簇粒径的一致性和稳定性，最大限度地减少组份偏差和物相污染，大幅度地提高了系统的动态响应性能。
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公开(公告)号：CN105388173A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510644709.X
申请日：2015-08-25
Applicant: FEI公司
IPC: G01N23/203
CPC classification number: G01N23/203 , H01J37/244 , H01J37/252 , H01J2237/2442 , H01J2237/2446 , H01J2237/24475 , H01J2237/24485 , H01J2237/24495 , H01J2237/24585 , H01J2237/2555 , H01J2237/31745
Abstract: 本发明涉及获取EBSP图样的方法。本发明涉及一种获取带电粒子设备中的样品(126)的能量背散射图样(EBSP)图像的方法，所述样品显示出一个平坦表面，所述带电粒子设备被装配有用于产生精细聚焦的电子束的电子镜筒(110)、用于检测EBSP图样的位敏检测器(128)以及用于保持并定位所述样品的样品支架(124)，所述方法包括步骤：相对于所述电子束定位所述样品，将所述电子束引导至所述样品上的撞击点，从而导致背散射电子辐照所述检测器，并且当所述电子束保持静止时从所述检测器获取信号，其特征在于：所述检测器被装配成选择性地检测具有高于预定阈值的能量的电子，并且具有高于所述阈值的能量的电子的信号被用于形成EBSP图像。
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