公开(公告)号：CN105308463A

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201480031838.5

申请日：2014-05-14

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 浜村宏

IPC: G01P21/00 ,  B81B3/00 ,  G01P15/12 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/123 ,  G01P21/00

Abstract: 根据本发明的加速度传感器(11)包括固定部(12)、重锤部(13)、检测梁(14A)、支撑梁(14B、14C)和金属布线(15A)。重锤部(13)相对于固定部(12)可自由移位地被支撑。检测梁(14A)连接于固定部(12)和重锤部(13)，并设有压阻元件(16A～16D)。在检测梁(14A)之外另设有支撑梁(14B、14C)，该支撑梁(14B、14C)连接于固定部(12)和重锤部(13)。金属布线(15A)以穿过支撑梁(14B、14C)的方式布线，其两端引出到固定部(12)。

公开(公告)号：CN102918401B

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201180026272.3

申请日：2011-06-08

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 吉田和广 ,  浜村宏

IPC: G01P15/12 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/123 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0235 ,  G01P15/09

Abstract: 本发明公开一种能够更可靠地检测所涉及的力产生的物理量的力学传感器。力学传感器(10)具备俯视下为H型的重物(11)。重物(11)一体形成有长方体形状且在短边方向上以规定间隔排列的第一部分重物(11A)、第二部分重物(11B)、以及将它们连接且沿着上述排列方向延伸的桥接部(11C)。桥接部(11C)在第一、第二部分重物(11A、11B)的长边方向的中央位置将它们连接。在第一、第二部分重物(11A、11B)之间的未形成桥接部(11C)的区域配置支撑体(12A、12B)。第一部分重物(11A)通过梁(13A)与支撑体(12A)连接，并通过梁(13C)与支撑体(12B)连接。第二部分重物(11B)通过梁(13B)与支撑体(12A)连接，并通过梁(13D)与支撑体(12B)连接。

公开(公告)号：CN102918401A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201180026272.3

申请日：2011-06-08

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 吉田和广 ,  浜村宏

IPC: G01P15/12 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/123 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0235 ,  G01P15/09

Abstract: 本发明公开一种能够更可靠地检测所涉及的力产生的物理量的力学传感器。力学传感器(10)具备俯视下为H型的重物(11)。重物(11)一体形成有长方体形状且在短边方向上以规定间隔排列的第一部分重物(11A)、第二部分重物(11B)、以及将它们连接且沿着上述排列方向延伸的桥接部(11C)。桥接部(11C)在第一、第二部分重物(11A、11B)的长边方向的中央位置将它们连接。在第一、第二部分重物(11A、11B)之间的未形成桥接部(11C)的区域配置支撑体(12A、12B)。第一部分重物(11A)通过梁(13A)与支撑体(12A)连接，并通过梁(13C)与支撑体(12B)连接。第二部分重物(11B)通过梁(13B)与支撑体(12A)连接，并通过梁(13D)与支撑体(12B)连接。