半導体装置の製造方法
    3.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2021118214A

    公开(公告)日:2021-08-10

    申请号:JP2020008890

    申请日:2020-01-23

    Inventor: 鈴木 隆信

    Abstract: 【課題】簡便で、製造コストの大幅な増加を招かずに寄生トランジスタの寄生動作を抑制するIIL(Integrated Injection Logic)回路部を形成する半導体装置の製造方法を提供する。 【解決手段】IIL回路部のマルチコレクタnpnトランジスタのベースとなる第2のp型不純物領域6aをエミッタ、第1のn型不純物領域5aおよびn型の埋込層4aをベース、分離領域3をコレクタとする寄生トランジスタがオンする場合、第1のn型不純物領域5aの幅を広げ、第1のn型不純物領域5aとn型埋込層4aとの接続部の不純物濃度を高くし、寄生トランジスタの寄生動作を抑制する。 【選択図】図3

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