公开(公告)号：CN102119060A

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN200980130926.X

申请日：2009-08-19

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 铃木一成 ,  潘毅

IPC: B08B3/12 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67057 ,  B08B3/12 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67051 ,  Y10S134/902

Abstract: 本发明提供一种能够容易地应对被清洗物的清洗面的大径化的超声波清洗装置。本发明所涉及的超声波清洗装置的特征在于，具备：对传送液(15)赋予超声波能量的超声波振动件(13)；使由所述超声波振动件赋予了超声波能量的传送液流动的超声波传送管(12)；配置在所述超声波传送管的下方的保持被清洗物(21)的保持机构；向由所述保持机构保持的被清洗物的清洗面供给清洗液的清洗液供给机构，其中，所述超声波传送管(12)配置成其侧面与通过由所述清洗液供给机构向所述清洗面供给清洗液而在该清洗面形成的该清洗液的液膜(19)接触。

公开(公告)号：CN102119060B

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN200980130926.X

申请日：2009-08-19

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 铃木一成 ,  潘毅

IPC: B08B3/12 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67057 ,  B08B3/12 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67051 ,  Y10S134/902

Abstract: 本发明提供一种能够容易地应对被清洗物的清洗面的大径化的超声波清洗装置。本发明所涉及的超声波清洗装置的特征在于，具备：对传送液(15)赋予超声波能量的超声波振动件(13)；使由所述超声波振动件赋予了超声波能量的传送液流动的超声波传送管(12)；配置在所述超声波传送管的下方的保持被清洗物(21)的保持机构；向由所述保持机构保持的被清洗物的清洗面供给清洗液的清洗液供给机构，其中，所述超声波传送管(12)配置成其侧面与通过由所述清洗液供给机构向所述清洗面供给清洗液而在该清洗面形成的该清洗液的液膜(19)接触。

公开(公告)号：CN1442881A

公开(公告)日：2003-09-17

申请号：CN02152961.2

申请日：2002-11-29

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 山口谦介 ,  石川义则 ,  潘毅

IPC: H01L21/00 ,  F26B9/00 ,  F26B21/00

CPC classification number: H01L21/67034 ,  B08B3/02 ,  Y10S134/902

Abstract: 本发明提供能够在短时间内干燥洗净物，有效防止洗净物被污染，和防止能量损失的干燥洗涤物的装置和方法。用于干燥洗涤物的装置包括干燥罐20，该干燥罐上部有开口使得可以将洗涤物从上部放置或取出；和与该干燥罐形成一体的清洗罐30，该装置能够通过关闭可开关的盖子21而被密封。干燥罐20包括用于向洗涤物提供常温有机溶剂雾气M的雾气导直叶片22，使得洗涤物可被从雾气导直叶片22发射的有机溶剂雾气M干燥。