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公开(公告)号:CN107533989B
公开(公告)日:2020-02-28
申请号:CN201680023498.0
申请日:2016-10-06
Applicant: 株式会社海上
Inventor: 竹本刚
IPC: H01L21/60
Abstract: 本发明提供无需使用人的手便能够向超声波焊头的安装部插入毛细管的毛细管输送装置。本发明的一方案涉及一种毛细管输送装置,其具备输送毛细管(13)的第一管(17)、具有安装所述毛细管的安装部的超声波焊头(11)、使所述超声波焊头与所述第一管的第一端部(17a)相对移动的第一移动机构、以及向所述第一管的第二端部(17b)吹入气体的机构。
公开(公告)号:CN107533989A
公开(公告)日:2018-01-02