公开(公告)号：JP4312493B2

公开(公告)日：2009-08-12

申请号：JP2003110909

申请日：2003-04-15

Applicant: 株式会社渡辺商行

Inventor： 昌樹 楠原 ,  貴裕 畠中 ,  政司 稲光

IPC: B65G49/06 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

公开(公告)号：JP4312475B2

公开(公告)日：2009-08-12

申请号：JP2003059240

申请日：2003-03-05

Applicant: 株式会社渡辺商行

Inventor： 昌樹 楠原 ,  貴裕 畠中 ,  政司 稲光

IPC: B25J15/08 ,  B65G49/06 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68