表面处理方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103526276A

    公开(公告)日:2014-01-22

    申请号:CN201310426088.9

    申请日:2006-05-18

    CPC classification number: C23F3/00 C23G1/18 C25F1/00

    Abstract: 本发明涉及不使用危险性高的硝酸等除去构成真空容器等真空处理装置的部件的表面附着的药液和金属等的附着物的方法。该方法是以构成真空处理装置的金属制部件作为被处理物的表面处理方法,其特征为,对上述被处理物的表面进行电解抛光、部分电解抛光、化学抛光、酸洗或电解酸洗后,利用在大于等于0.5重量%、小于3重量%的稀碱液中,添加羧酸或羧酸盐以使浓度达到大于等于0.5重量%、小于10重量%而得到的碱系螯合物溶液对上述被处理物的表面进行洗涤。

    表面处理方法及表面处理装置

    公开(公告)号:CN109423674B

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN201810966182.6

    申请日:2018-08-23

    Abstract: 本发明涉及表面处理方法及表面处理装置。本发明的表面处理方法为如下过程:在由阀金属构成的被处理体的被处理面设定多个处理区域,并且将各处理区域连续或断续地浸渍在电解液中以进行阳极氧化处理,从而在所述被处理面上形成氧化被膜。所述阳极氧化处理包括第M(M为2以上的整数)工序。第M工序具备第Ma工序、第Mb工序…和第Mn工序(n为1以上的整数)。通过使所述电压VM向所述最高电压VMax的方向依次增加而设为规定的数值,并且反复进行所述第M工序,从而形成合计膜厚为期望的厚度的所述氧化被膜。

    表面处理方法
    7.
    发明公开
    表面处理方法 审中-公开

    公开(公告)号:CN112126930A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202010559211.4

    申请日:2020-06-18

    Abstract: 提供一种表面处理方法,其能够抑制在构件的表面沉积的成膜物从构件脱离,并且能抑制内含物的放出。表面处理方法包括:通过喷砂处理使构件(10)的金属制的表面(10F)粗糙化。在喷砂处理后的粗糙化的表面(10F)残留由喷砂处理引起的残渣。方法进一步包括利用蚀刻液对粗糙化的表面(10F)进行蚀刻。蚀刻以蚀刻后的粗糙化的表面(10F)具有的算术平均粗糙度(Ra)、即由JIS B 0601:2013规定的算术平均粗糙度(Ra)成为通过喷砂处理得到的粗糙化的表面(10F)的算术平均粗糙度(Ra)的53%以上100%以下的方式实施。

    表面处理方法及表面处理装置

    公开(公告)号:CN109423674A

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201810966182.6

    申请日:2018-08-23

    Abstract: 本发明涉及表面处理方法及表面处理装置。本发明的表面处理方法为如下过程:在由阀金属构成的被处理体的被处理面设定多个处理区域,并且将各处理区域连续或断续地浸渍在电解液中以进行阳极氧化处理,从而在所述被处理面上形成氧化被膜。所述阳极氧化处理包括第M(M为2以上的整数)工序。第M工序具备第Ma工序、第Mb工序…和第Mn工序(n为1以上的整数)。通过使所述电压VM向所述最高电压VMax的方向依次增加而设为规定的数值,并且反复进行所述第M工序,从而形成合计膜厚为期望的厚度的所述氧化被膜。

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