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公开(公告)号:CN101395487A
公开(公告)日:2009-03-25
申请号:CN200780007522.2
申请日:2007-02-21
Applicant: 株式会社爱德万测试
IPC: G01R31/26
CPC classification number: G01R31/2893
Abstract: 在本发明的电子部件测试装置中,使吸附保持IC元件的吸附头(303e)上下移动的气缸(123),具有缸筒(123a)、活塞(123c)、形成在活塞(123c)下方的第一中空室(123d)、形成在活塞(123c)上方且活塞(123c)的受压面积比第一中空室(123d)大的第二中空室(123f)、一端连接在活塞(123c)上且另一端连接在吸附头(303e)上的杆(123h);第一中空室(123d)即使在电子部件测试装置的电源被切断时,也可通过确保空气供给的第一供给系统与空气供给装置连接,第二中空室(123f)通过具有开闭阀的第二供给系统与空气供给装置连接。
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公开(公告)号:CN101512357A
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200680055827.6
申请日:2006-09-15
Applicant: 株式会社爱德万测试
IPC: G01R31/26
CPC classification number: G01R31/2893 , G01R31/2862
Abstract: 电子元件测试装置设有将包围推进器129及插座50的空间密闭的箱体121、能够将箱体121内存在的流体升温或降温的热交换器122、使流体循环的风扇123以及将流体从热交换器122直接引导到测定位置900近傍的通道126,而且,风扇123将经由通道126引导到测定位置900的流体回收。
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公开(公告)号:CN100511625C
公开(公告)日:2009-07-08
申请号:CN200480019450.X
申请日:2004-06-02
Applicant: 株式会社爱德万测试
IPC: H01L21/677 , B65G49/07 , G01R31/26
CPC classification number: H01L21/67333 , G01R31/2893 , H05K13/0084 , H05K13/021
Abstract: 一种搬运装置,其能用Z轴驱动装置使可以保持和释放专用盘KST的盘移送臂(205)沿Z轴方向移动,把该Z轴驱动装置作成在使盘移送臂(205)向Z轴下方移动的途中能把该移动动作从通常动作切换到转矩限制动作。用这样的盘移送臂(205)不必在存放专用盘KST的各存放器中设置升降机,另外,不必正确地知道专用盘KST的高度或其装载高度,进而,在不需要转矩限制的位置上,可以使盘移送臂(205)的移动速度维持高速。
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公开(公告)号:CN1820204A
公开(公告)日:2006-08-16
申请号:CN200480019450.X
申请日:2004-06-02
Applicant: 株式会社爱德万测试
IPC: G01R31/26
CPC classification number: H01L21/67333 , G01R31/2893 , H05K13/0084 , H05K13/021
Abstract: 一种搬运装置,其能用Z轴驱动装置使可以保持和释放专用盘KST的盘移送臂(205)沿Z轴方向移动,把该Z轴驱动装置作成在使盘移送臂(205)向Z轴下方移动的途中能把该移动动作从通常动作切换到转矩限制动作。用这样的盘移送臂(205)不必在存放专用盘KST的各存放器中设置升降机,另外,不必正确地知道专用盘KST的高度或其装载高度,进而,在不需要转矩限制的位置上,可以使盘移送臂(205)的移动速度维持高速。
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