移动装置及电子部件测试装置

    公开(公告)号:CN101395487A

    公开(公告)日:2009-03-25

    申请号:CN200780007522.2

    申请日:2007-02-21

    CPC classification number: G01R31/2893

    Abstract: 在本发明的电子部件测试装置中,使吸附保持IC元件的吸附头(303e)上下移动的气缸(123),具有缸筒(123a)、活塞(123c)、形成在活塞(123c)下方的第一中空室(123d)、形成在活塞(123c)上方且活塞(123c)的受压面积比第一中空室(123d)大的第二中空室(123f)、一端连接在活塞(123c)上且另一端连接在吸附头(303e)上的杆(123h);第一中空室(123d)即使在电子部件测试装置的电源被切断时,也可通过确保空气供给的第一供给系统与空气供给装置连接,第二中空室(123f)通过具有开闭阀的第二供给系统与空气供给装置连接。

    电子元件测试装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101512357A

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200680055827.6

    申请日:2006-09-15

    CPC classification number: G01R31/2893 G01R31/2862

    Abstract: 电子元件测试装置设有将包围推进器129及插座50的空间密闭的箱体121、能够将箱体121内存在的流体升温或降温的热交换器122、使流体循环的风扇123以及将流体从热交换器122直接引导到测定位置900近傍的通道126,而且,风扇123将经由通道126引导到测定位置900的流体回收。

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