半导体器件测试仪器和用于该测试仪器的测试盘

    公开(公告)号:CN1226635C

    公开(公告)日:2005-11-09

    申请号:CN98801238.3

    申请日:1998-07-02

    CPC classification number: G01R31/2893 G01R31/01 G01R31/2851 G01R31/2867

    Abstract: 一种IC测试器,能够减少完成对所有要测试的IC的测试需要的时间。恒温室(4)和退出室(5)的深度(在Y轴方向的长度),扩充了大致对应于矩形测试盘(3)的横边的长度(短边的长度),在从恒温室(4)中的保温室(41)经恒温室(4)中的测试部分(42)伸展到退出室(5)的通道的部分中,提供了两条基本平行的测试盘输送通道或者加宽的测试盘输送通道,能够沿着两条输送通道或加宽的测试盘输送通道同时输送两个测试盘,这两个测试盘在横过两条平行的测试盘输送通道的方向上并列安排。

    移动装置及电子部件测试装置

    公开(公告)号:CN101395487A

    公开(公告)日:2009-03-25

    申请号:CN200780007522.2

    申请日:2007-02-21

    CPC classification number: G01R31/2893

    Abstract: 在本发明的电子部件测试装置中,使吸附保持IC元件的吸附头(303e)上下移动的气缸(123),具有缸筒(123a)、活塞(123c)、形成在活塞(123c)下方的第一中空室(123d)、形成在活塞(123c)上方且活塞(123c)的受压面积比第一中空室(123d)大的第二中空室(123f)、一端连接在活塞(123c)上且另一端连接在吸附头(303e)上的杆(123h);第一中空室(123d)即使在电子部件测试装置的电源被切断时,也可通过确保空气供给的第一供给系统与空气供给装置连接,第二中空室(123f)通过具有开闭阀的第二供给系统与空气供给装置连接。

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