夹具特性测定装置、方法以及网络分析器、半导体试验装置

    公开(公告)号:CN100495046C

    公开(公告)日:2009-06-03

    申请号:CN200580021429.8

    申请日:2005-06-13

    CPC classification number: G01R27/28 G01R35/005

    Abstract: 本发明涉及在运算测量被测定物的电路参数时使用的夹具的特性的测定。一种用于测定具有连接DUT(2)和网络分析器(1)的信号线(3a、3b、3c、3d)的夹具(3)的夹具特性(亦即信号线(3a、3b、3c、3d)的反射特性、传输S参数等)的夹具特性测定装置,在DUT(2)不连接在信号线(3a、3b、3c、3d)上的开路状态下,测定信号线(3a、3b、3c、3d)的反射系数,在信号线(3a、3b、3c、3d)全部接地的短路状态下,测定信号线(3a、3b、3c、3d)的反射系数,根据这些测定结果,导出夹具(3)的夹具特性。

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