夹具特性测定装置、方法以及网络分析器、半导体试验装置

    公开(公告)号:CN100495046C

    公开(公告)日:2009-06-03

    申请号:CN200580021429.8

    申请日:2005-06-13

    CPC classification number: G01R27/28 G01R35/005

    Abstract: 本发明涉及在运算测量被测定物的电路参数时使用的夹具的特性的测定。一种用于测定具有连接DUT(2)和网络分析器(1)的信号线(3a、3b、3c、3d)的夹具(3)的夹具特性(亦即信号线(3a、3b、3c、3d)的反射特性、传输S参数等)的夹具特性测定装置,在DUT(2)不连接在信号线(3a、3b、3c、3d)上的开路状态下,测定信号线(3a、3b、3c、3d)的反射系数,在信号线(3a、3b、3c、3d)全部接地的短路状态下,测定信号线(3a、3b、3c、3d)的反射系数,根据这些测定结果,导出夹具(3)的夹具特性。

    网络分析器、网络分析方法

    公开(公告)号:CN100439928C

    公开(公告)日:2008-12-03

    申请号:CN200580005648.7

    申请日:2005-02-10

    CPC classification number: G01R35/005 G01R27/28

    Abstract: 可以取得传送跟踪的相位从而可以修正测定系统误差。具备:测定系统误差因子记录部80,其记录与DUT2引起的频率变换无关地产生的测定系统误差因子;和误差因子取得部90,把从端子2a输出的信号表示为输入到端子2a的信号乘以第一系数的积与输入到另一端子2b的信号乘以第二系数的积的和,测定第二系数大小的比为恒定的校正用混频器的第一系数以及第二系数,根据记录在测定系统误差因子记录部80内的测定系统误差因子和第一系数以及第二系数,取得因频率变换而产生的传送跟踪。

    误差因子获取器件
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100422752C

    公开(公告)日:2008-10-01

    申请号:CN200480027007.7

    申请日:2004-09-14

    CPC classification number: G01R27/28 G01R35/005

    Abstract: 通过减少校准配件连接和分离的次数来校准DUT(被测器件)电路参数的测量系统是可能的。一种误差因子获取器件包括:第一校准器(100),连接到端口(18,28),并且具有对网络分析器的端口(18,28)实现开路、短路和标准负载或使端口(18,28)短路的第一状态实现单元(120);以及第二校准器(200),连接到第一校准器(100)和DUT 400,并且具有对端口(18,28)实现开路、短路和标准负载的第二状态实现单元(220)。第一校准器(100)包括将端口(18,28)连接到第一状态实现单元(120)或第二校准器(200)的第一连接单元(110a,110b),同时第二校准器(200)包括将端口(18,28)连接到第二状态实现单元(220)或DUT400的第二连接单元(210)。

    网络分析器、网络分析方法、程序和记录媒体

    公开(公告)号:CN1922499A

    公开(公告)日:2007-02-28

    申请号:CN200580005648.7

    申请日:2005-02-10

    CPC classification number: G01R35/005 G01R27/28

    Abstract: 可以取得传送跟踪的相位从而可以修正测定系统误差。具备:测定系统误差因子记录部80,其记录与DUT2引起的频率变换无关地产生的测定系统误差因子;和误差因子取得部90,把从端子2a输出的信号表示为输入到端子2a的信号乘以第一系数的积与输入到另一端子2b的信号乘以第二系数的积的和,测定第二系数大小的比为恒定的校正用混频器的第一系数以及第二系数,根据记录在测定系统误差因子记录部80内的测定系统误差因子和第一系数以及第二系数,取得因频率变换而产生的传送跟踪。

    元件判断装置、方法、程序、记录介质以及测定装置

    公开(公告)号:CN101523227A

    公开(公告)日:2009-09-02

    申请号:CN200780032041.7

    申请日:2007-08-24

    CPC classification number: G01R27/28 G01R35/005

    Abstract: 本发明的反射元件判断装置(50),根据将反射元件(41、42)分别与第一信号源(10)以及第二信号源(20)连接起来的状态下的信号的测定结果、以及经由传送元件(44)将第一信号源(10)与第二信号源(20)连接起来的状态下的信号的测定结果,来导出第一信号源(10)和第二信号源(20)中的误差因素;根据经由传送元件(44)将第一信号源(10)与第二信号源(20)连接起来的状态下的信号的测定结果、和所导出的误差因素,来导出传送元件(44)的传送特性;根据所导出的传送元件(44)的传送特性、和在导出之前已经知道的传送元件(44)的传送特性,来判断反射元件(41、42)是否实现了预定的反射状态。其中,传送元件(44)中,关于从第一端子(44a)向第二端子(44b)的方向的传送特性、与关于其反方向的传送特性相等。

    网络分析器、传送跟踪测定方法、网络分析方法

    公开(公告)号:CN100504405C

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200580009677.0

    申请日:2005-03-15

    CPC classification number: G01R27/28

    Abstract: 减轻为测定传送跟踪而选择并直接连接网络分析器的端口中的两个端口而花费的劳力。在网络分析器1上,连接着把4个端口分支成为9个端口(主端口群:3个端口、副端口群:3个端口×2)的测试装置;网络分析器1,具备:发送接收用端口1a、1b、1c、1d;传送跟踪决定部7,其根据对主端口群中可实现的全部连接关系由发送接收用端口1a、1b、1c、1d发送之前的信号和接收到的信号对测试装置的主端口群中可实现的连接关系与测试装置的副端口群中可实现的连接关系的组合决定传送跟踪;传送跟踪导出部8,其根据由传送跟踪决定部7决定的传送跟踪,导出其它传送跟踪。

    网络分析器、传送跟踪测定方法、网络分析方法、程序和记录媒体

    公开(公告)号:CN1938595A

    公开(公告)日:2007-03-28

    申请号:CN200580009677.0

    申请日:2005-03-15

    CPC classification number: G01R27/28

    Abstract: 减轻为测定传送跟踪而选择并直接连接网络分析器的端口中的两个端口而花费的劳力。在网络分析器1上,连接着把4个端口分支成为9个端口(主端口群:3个端口、副端口群:3个端口×2)的测试装置;网络分析器1,具备:发送接收用端口1a、1b、1c、1d;传送跟踪决定部7,其根据对主端口群中可实现的全部连接关系由发送接收用端口1a、1b、1c、1d发送之前的信号和接收到的信号对测试装置的主端口群中可实现的连接关系与测试装置的副端口群中可实现的连接关系的组合决定传送跟踪;传送跟踪导出部8,其根据由传送跟踪决定部7决定的传送跟踪,导出其它传送跟踪。

    网络分析仪、网络分析方法和记录媒体

    公开(公告)号:CN1153066C

    公开(公告)日:2004-06-09

    申请号:CN00128357.X

    申请日:2000-11-24

    CPC classification number: G01R27/28

    Abstract: 一种网络分析仪,包括:原始数据测量部分(13),用于测量被测器件(20)的S参数;测量系统误差因数测量部分(14),用于获得在测量被测器件(20)时产生的测量系统误差因数;参数转换因数计算部分(15),用于获得参数转换因数;扩展误差因数计算部分(17),用于获得扩展误差因数;以及被测器件计算部分(18),用于根据S参数和扩展误差因数获得阻抗。相应地,无需夹具,并且还能预先获得扩展误差因数。因此,能够简化网络分析仪的运作和提高计算速度。

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