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公开(公告)号:CN1932493B
公开(公告)日:2012-01-04
申请号:CN200610127560.9
申请日:2006-09-12
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/223 , G01B15/02
CPC classification number: G01B15/02 , G01N23/223 , G01N2223/076
Abstract: 本发明的课题在于提供一种荧光X射线分析装置,其可充分正确地对镀合金化熔融锌的钢板的组分沿深度方向不均匀的镀膜的附着量和组分进行分析。该装置包括X射线源(7),该X射线源(7)按照规定的入射角(φ),对试样(1)照射1次X射线(6);检测机构(9),该检测机构(9)测定按照规定的取出角(α,β),由试样(1)产生的荧光X射线(8)的强度,在上述入射角(φ)和取出角(α,β)的组合中,以至少1者不同的2个组合,测定荧光X射线(8)的强度,针对由荧光X射线(8)的强度为增加测定对象膜的附着量时的上限值的99%的附着量表示的测定深度,按照上述2个组合的测定深度均大于上述镀膜(3)的附着量的方式,设定各组合的入射角(φ)和取出角(α,β)。
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