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公开(公告)号：CN104655663B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201410683622.9
申请日：2014-11-25
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/207
Abstract: 提供了一种用于X射线分析仪的光轴调整装置，其包括：入射侧臂、接收侧臂、X射线源、入射侧裂缝、X射线检测器，其中该装置包括布置在阻挡来自所述X射线源被所述X射线检测器接收的X射线的位置处的屏蔽带，和围绕所述样本轴相对于从所述X射线源到达所述X射线检测器的X射线的光轴将所述屏蔽带旋转到两个角位置的屏蔽带移动装置，并且，基于由所述X射线检测器针对所述两个角位置找到的X射线强度值来找到样本的表面相对于X射线的光轴在平行性方面的偏离量。
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公开(公告)号：CN104655663A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410683622.9
申请日：2014-11-25
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/207
CPC classification number: G01N23/207 , G01N2223/314
Abstract: 提供了一种用于X射线分析仪的光轴调整装置，其包括：入射侧臂、接收侧臂、X射线源、入射侧裂缝、X射线检测器，其中该装置包括布置在阻挡来自所述X射线源被所述X射线检测器接收的X射线的位置处的屏蔽带，和围绕所述样本轴相对于从所述X射线源到达所述X射线检测器的X射线的光轴将所述屏蔽带旋转到两个角位置的屏蔽带移动装置，并且，基于由所述X射线检测器针对所述两个角位置找到的X射线强度值来找到样本的表面相对于X射线的光轴在平行性方面的偏离量。
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公开(公告)号：CN104655662B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201410683606.X
申请日：2014-11-25
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/207
CPC classification number: G01N23/207 , G01N23/20016 , G01N2223/303
Abstract: 本发明涉及用于X射线分析器的光轴调整方法和X射线分析器。提供了一种用于X射线分析器的光轴调整方法，所述X射线分析器包括入射侧臂、接收侧臂、X射线源、入射侧狭缝、以及具有在直线上的X射线强度位置分辨的一维X射线检测器。所述方法包括2θ调整步骤，其中将接收侧臂的旋转的0°位置和衍射角2θ的0°位置对准；Zs轴调整步骤，其中调整沿着与从X射线源入射到样本上的X射线的中心线正交的方向的入射侧狭缝的位置；以及θ调整步骤，其中调整从X射线源入射到样本上的X射线的中心线和样本的表面从而使其平行。在2θ调整步骤、Zs轴调整步骤和θ调整步骤中，由一维X射线检测器具有的针对在直线上的X射线强度位置分辨的能力被用于执行2θ调整、Zs轴调整和θ调整。
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公开(公告)号：CN104655662A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410683606.X
申请日：2014-11-25
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/207
CPC classification number: G01N23/207 , G01N23/20016 , G01N2223/303
Abstract: 本发明涉及用于X射线分析器的光轴调整方法和X射线分析器。提供了一种用于X射线分析器的光轴调整方法，所述X射线分析器包括入射侧臂、接收侧臂、X射线源、入射侧狭缝、以及具有在直线上的X射线强度位置分辨的一维X射线检测器。所述方法包括2θ调整步骤，其中将接收侧臂的旋转的0°位置和衍射角2θ的0°位置对准；Zs轴调整步骤，其中调整沿着与从X射线源入射到样本上的X射线的中心线正交的方向的入射侧狭缝的位置；以及θ调整步骤，其中调整从X射线源入射到样本上的X射线的中心线和样本的表面从而使其平行。在2θ调整步骤、Zs轴调整步骤和θ调整步骤中，由一维X射线检测器具有的针对在直线上的X射线强度位置分辨的能力被用于执行2θ调整、Zs轴调整和θ调整。
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