公开(公告)号：CN110036284B

公开(公告)日：2020-09-18

申请号：CN201780073230.2

申请日：2017-11-14

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 村上智 ,  表和彦 ,  菊田真也 ,  池下昭弘

IPC: G01N23/20

Abstract: 本发明的X射线反射率测定装置包括：照射角度可变机构(10)，其使对试样表面(8a)的聚光X射线束(6)的照射角度变化；被固定的位置灵敏型检测器(14)；反射强度计算机构(15)，其与照射角度可变机构(10)的聚光X射线束(6)的照射角度的变化同步，仅仅针对位置灵敏型检测器(14)中的位于反射X射线束(12)的发散角度幅度内的检测元件(11)，就构成反射X射线束(12)的反射X射线(13)的每个反射角度，累加计算对应的检测元件(11)的检测强度。

公开(公告)号：CN110036284A

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：CN201780073230.2

申请日：2017-11-14

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 村上智 ,  表和彦 ,  菊田真也 ,  池下昭弘

IPC: G01N23/20

Abstract: 本发明的X射线反射率测定装置包括：照射角度可变机构(10)，其使对试样表面(8a)的聚光X射线束(6)的照射角度变化；被固定的位置灵敏型检测器(14)；反射强度计算机构(15)，其与照射角度可变机构(10)的聚光X射线束(6)的照射角度的变化同步，仅仅针对位置灵敏型检测器(14)中的位于反射X射线束(12)的发散角度幅度内的检测元件(11)，就构成反射X射线束(12)的反射X射线(13)的每个反射角度，累加计算对应的检测元件(11)的检测强度。