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公开(公告)号：CN112204387B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN201980036260.5
申请日：2019-06-19
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/223 , G01J4/04
Abstract: 本发明提供测量装置、测量方法和测量程序，能方便地输入其他测量装置获得的测量结果，并可防止输入错误。使用其它装置测量结果获得自己的测量结果，包括输出数据取得部，取得经其它测量装置得到的输出数据；指定位置取得部，输出数据中的用户指定位置；其它装置测量结果取得部，取得包含在输出数据取得部取得的输出数据中、指定位置的其它装置测量结果；测量结果取得部，使用取得的其它装置测量结果取得自己的测量结果；位置数据存储部，存储表示指定位置的位置数据，当输出数据取得部取得其它测量装置得到的其它输出数据时，如位置数据存储部中已存储位置数据，其它装置测量结果取得部取得该位置数据所表示的指定位置中的其它装置测量结果。
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公开(公告)号：CN108713138B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201780016018.2
申请日：2017-02-16
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/223 , G01N23/207
Abstract: 本发明的多元素同时型荧光X射线分析装置包括：装载试样(1)的试样台(2)；试样(1)的运送臂(22)；使试样台(2)移动的工作台(11)；照射一次X射线(7)的X射线源(8)，其中，在试样台(2)上形成用于让运送臂(22)沿竖直方向通过的缺口部(2e)，本底补偿机构(21)针对空白晶圆(1b)上的各测定点(Pn)，将下述强度作为测定点(Pn)的本底强度而预先存储，该强度指，从测定点(Pn)的测定强度中扣除位于缺口部(2e)上的基准测定点(P0)的测定强度后的强度，针对分析对象试样(1a)的各测定点(Pn)，从测定点(Pn)的测定强度中扣除测定点(Pn)的本底强度以进行补偿。
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公开(公告)号：CN112204387A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201980036260.5
申请日：2019-06-19
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/223 , G01J4/04
Abstract: 本发明提供测量装置、测量方法和测量程序，能方便地输入其他测量装置获得的测量结果，并可防止输入错误。使用其它装置测量结果获得自己的测量结果，包括输出数据取得部，取得经其它测量装置得到的输出数据；指定位置取得部，输出数据中的用户指定位置；其它装置测量结果取得部，取得包含在输出数据取得部取得的输出数据中、指定位置的其它装置测量结果；测量结果取得部，使用取得的其它装置测量结果取得自己的测量结果；位置数据存储部，存储表示指定位置的位置数据，当输出数据取得部取得其它测量装置得到的其它输出数据时，如位置数据存储部中已存储位置数据，其它装置测量结果取得部取得该位置数据所表示的指定位置中的其它装置测量结果。
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公开(公告)号：CN108713138A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201780016018.2
申请日：2017-02-16
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/223 , G01N23/207
Abstract: 本发明的多元素同时型荧光X射线分析装置包括：装载试样(1)的试样台(2)；试样(1)的运送臂(22)；使试样台(2)移动的工作台(11)；照射一次X射线(7)的X射线源(8)，其中，在试样台(2)上形成用于让运送臂(22)沿竖直方向通过的缺口部(2e)，本底补偿机构(21)针对空白晶圆(1b)上的各测定点(Pn)，将下述强度作为测定点(Pn)的本底强度而预先存储，该强度指，从测定点(Pn)的测定强度中扣除位于缺口部(2e)上的基准测定点(P0)的测定强度后的强度，针对分析对象试样(1a)的各测定点(Pn)，从测定点(Pn)的测定强度中扣除测定点(Pn)的本底强度以进行补偿。
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