公开(公告)号：CN1638082A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200410104494.4

申请日：2004-12-23

Applicant: 株式会社瑞萨科技

Inventor： 佐藤匡史

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/82

CPC classification number: G01R31/2889 ,  G01R1/07342

Abstract: 探针卡由主板和主板的主表面上方配置的子板形成。子板配置在平面中的内圆周焊盘区的内侧中。继电器布置在沿子板的上表面的外圆周的线中。电子元件如继电器、电容器、晶体控制振荡器和IC选自尽可能减小尺寸的那些元件。用于检查的电路由子板上方提供的电子元件和子板内的布线层形成。结果，可以提高探针卡的产量。

公开(公告)号：CN100407393C

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：CN200410104494.4

申请日：2004-12-23

Applicant: 株式会社瑞萨科技

Inventor： 佐藤匡史

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/82

CPC classification number: G01R31/2889 ,  G01R1/07342

Abstract: 探针卡由主板和主板的主表面上方配置的子板形成。子板配置在平面中的内圆周焊盘区的内侧中。继电器布置在沿子板的上表面的外圆周的线中。电子元件如继电器、电容器、晶体控制振荡器和IC选自尽可能减小尺寸的那些元件。用于检查的电路由子板上方提供的电子元件和子板内的布线层形成。结果，可以提高探针卡的产量。