公开(公告)号：CN104858786B

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201510166227.8

申请日：2011-09-08

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 渡边和英 ,  伊原正和

IPC: B24B53/017 ,  B24B37/005 ,  B24B37/04

CPC classification number: B24B37/005 ,  B24B37/107 ,  B24B49/16 ,  B24B49/18

Abstract: 研磨装置，具有：使研磨工作台旋转的工作台旋转电动机；使顶环旋转的顶环旋转电动机；对研磨垫进行修整的修整器；测量研磨垫的高度的垫高测量器；和诊断部，根据研磨垫的高度计算研磨垫的损耗量，并根据研磨垫的损耗量、工作台旋转电动机的转矩或电流、和顶环旋转电动机的转矩或电流，确定研磨垫(22)的寿命。

公开(公告)号：CN102398210B

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201110324900.8

申请日：2011-09-08

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 渡边和英 ,  伊原正和

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/34 ,  B24B53/017

CPC classification number: B24B37/005 ,  B24B37/107 ,  B24B49/16 ,  B24B49/18

Abstract: 研磨装置，具有：使研磨工作台旋转的工作台旋转电动机；使顶环旋转的顶环旋转电动机；对研磨垫进行修整的修整器；测量研磨垫的高度的垫高测量器；和诊断部，根据研磨垫的高度计算研磨垫的损耗量，并根据研磨垫的损耗量、工作台旋转电动机的转矩或电流、和顶环旋转电动机的转矩或电流，确定研磨垫(22)的寿命。

公开(公告)号：CN104858786A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201510166227.8

申请日：2011-09-08

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 渡边和英 ,  伊原正和

IPC: B24B53/017 ,  B24B37/005 ,  B24B37/04

CPC classification number: B24B37/005 ,  B24B37/107 ,  B24B49/16 ,  B24B49/18 ,  B24B53/017 ,  B24B37/04

Abstract: 研磨装置，具有：使研磨工作台旋转的工作台旋转电动机；使顶环旋转的顶环旋转电动机；对研磨垫进行修整的修整器；测量研磨垫的高度的垫高测量器；和诊断部，根据研磨垫的高度计算研磨垫的损耗量，并根据研磨垫的损耗量、工作台旋转电动机的转矩或电流、和顶环旋转电动机的转矩或电流，确定研磨垫(22)的寿命。

公开(公告)号：CN102398210A8

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110324900.8

申请日：2011-09-08

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 渡边和英 ,  伊原正和

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/34 ,  B24B53/12

Abstract: 研磨装置，具有：使研磨工作台旋转的工作台旋转电动机；使顶环旋转的顶环旋转电动机；对研磨垫进行修整的修整器；测量研磨垫的高度的垫高测量器；和诊断部，根据研磨垫的高度计算研磨垫的损耗量，并根据研磨垫的损耗量、工作台旋转电动机的转矩或电流、和顶环旋转电动机的转矩或电流，确定研磨垫(22)的寿命。

公开(公告)号：CN102398210A

公开(公告)日：2012-04-04

申请号：CN201110324900.8

申请日：2011-09-09

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 渡边和英 ,  伊原正和

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/34 ,  B24B53/12

CPC classification number: B24B37/005 ,  B24B37/107 ,  B24B49/16 ,  B24B49/18

Abstract: 研磨装置，具有：使研磨工作台旋转的工作台旋转电动机；使顶环旋转的顶环旋转电动机；对研磨垫进行修整的修整器；测量研磨垫的高度的垫高测量器；和诊断部，根据研磨垫的高度计算研磨垫的损耗量，并根据研磨垫的损耗量、工作台旋转电动机的转矩或电流、和顶环旋转电动机的转矩或电流，确定研磨垫(22)的寿命。