公开(公告)号：CN116240612A

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202211383171.8

申请日：2022-11-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 藤木雅之 ,  北村圭

IPC: C25D17/06 ,  C25D19/00 ,  C25D7/12 ,  H01L21/67 ,  G06K19/077

Abstract: 本发明涉及基板支架、镀敷装置以及基板支架的管理方法。提供用于根据基板支架的使用状态来适当地处理基板支架的技术。一种基板支架，用于在镀敷装置中保持作为镀敷对象的基板。基板支架具备RFID标签，上述RFID标签具有存储使用属性的存储区域，上述使用属性包含表示在镀敷处理中被使用的状态的属性。

公开(公告)号：CN111522286B

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202010066334.4

申请日：2020-01-20

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 藤木雅之 ,  清泽信人 ,  北村圭

IPC: G05B19/05 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供了控制系统、计算机能够读取的记录介质及控制系统的方法，其能够高效地进行动作调整作业且安全地调整单元。控制系统(20)具备：控制装置(10)；以及多个终端装置，能够与控制装置(10)连接。控制装置(10)具备：存储装置(110)，储存了处理程序；以及处理装置(120)，根据处理程序而执行运算。处理程序包括以下的指令：以没有将访问对象单元的排他性操作权赋予多个终端装置中的任一个终端装置为条件，对应从多个终端装置中的一个终端装置即对象终端装置发送给控制装置(10)的、调整对象单元对访问对象单元的访问操作权的请求，将访问操作权赋予对象终端装置。

公开(公告)号：CN111522286A

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN202010066334.4

申请日：2020-01-20

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 藤木雅之 ,  清泽信人 ,  北村圭

IPC: G05B19/05 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供了控制系统、计算机能够读取的记录介质及控制系统的方法，其能够高效地进行动作调整作业且安全地调整单元。控制系统(20)具备：控制装置(10)；以及多个终端装置，能够与控制装置(10)连接。控制装置(10)具备：存储装置(110)，储存了处理程序；以及处理装置(120)，根据处理程序而执行运算。处理程序包括以下的指令：以没有将访问对象单元的排他性操作权赋予多个终端装置中的任一个终端装置为条件，对应从多个终端装置中的一个终端装置即对象终端装置发送给控制装置(10)的、调整对象单元对访问对象单元的访问操作权的请求，将访问操作权赋予对象终端装置。