公开(公告)号：CN119585846A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202380055611.3

申请日：2023-06-30

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 胁山武志 ,  村田诚治

IPC: H01L21/304 ,  G06N20/00

Abstract: 本发明关于信息处理装置、机器学习装置、数据处理方法、及机器学习方法。信息处理装置(5)具备：流体供给信息获取部(500)，该流体供给信息获取部获取包含处理流体状态信息的流体供给信息，该处理流体状态信息在通过基板处理装置进行的基板处理中表示从处理流体供给部供给的处理流体的供给状态，该基板处理装置具备与基板接触而进行规定的基板处理的处理部件和对基板或处理部件供给处理流体的处理流体供给部；及流体分散信息生成部(501)，该流体分散信息生成部基于通过流体供给信息获取部(500)获取的流体供给信息，生成流体分散信息，该流体分散信息表示从处理流体供给部供给的处理流体一边通过基板与处理部件的接触位置一边分散时的分散状态。

公开(公告)号：CN119768892A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202380062004.X

申请日：2023-06-29

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 村田诚治 ,  屉谷祐介 ,  坂田桂介

IPC: H01L21/02 ,  G06N20/00 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种可适当预测进行基板处理时从交流电力线产生的电磁波的影响的信息处理装置。信息处理装置(5)具备：电流值信息生成部(501)，该电流值信息生成部生成通过基板处理装置进行基板处理时供给至交流设备的交流电流的电流值信息，该基板处理装置具备交流设备和控制盘，该交流设备经由交流电力线连接于交流电源，该控制盘为了进行基板处理而控制交流设备，在基板处理中，一边使处理部件接触基板，一边对基板或处理部件供给处理流体；及电磁波影响信息生成部(502)，该电磁波影响信息生成部基于通过电流值信息生成部(501)生成的电流值信息，生成表示从交流电力线产生的电磁波的影响的电磁波影响信息。