公开(公告)号：CN101689495B

公开(公告)日：2011-10-05

申请号：CN200880024126.5

申请日：2008-06-24

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 金马利文 ,  草宏明 ,  藤井将喜

IPC: H01L21/304 ,  B24B9/00

CPC classification number: B24B49/12 ,  B24B9/065 ,  B24B37/005

Abstract: 本发明具备：载置台(20)，用于保持衬底W；载置台旋转机构(40)，用于使载置台旋转；研磨头(42)，用于研磨保持在载置台上的衬底的周缘部；控制部(70)，控制载置台(20)、载置台旋转机构(40)及研磨头(42)的动作；图像取得部(61)，通过与衬底的周缘部相对配置的至少1个末端摄像部(60)取得该衬底的周缘部的图像；图像处理部(62)，处理来自图像取得部的图像；及液体喷射部(51)，向衬底的周缘部喷射具有透光性的液体，在衬底的周缘部和末端摄像部之间充满液体。

公开(公告)号：CN101689495A

公开(公告)日：2010-03-31

申请号：CN200880024126.5

申请日：2008-06-24

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 金马利文 ,  草宏明 ,  藤井将喜

IPC: H01L21/304 ,  B24B9/00

CPC classification number: B24B49/12 ,  B24B9/065 ,  B24B37/005

Abstract: 本发明具备：载置台(20)，用于保持衬底W；载置台旋转机构(40)，用于使载置台旋转；研磨头(42)，用于研磨保持在载置台上的衬底的周缘部；控制部(70)，控制载置台(20)、载置台旋转机构(40)及研磨头(42)的动作；图像取得部(61)，通过与衬底的周缘部相对配置的至少1个末端摄像部(60)取得该衬底的周缘部的图像；图像处理部(62)，处理来自图像取得部的图像；及液体喷射部(51)，向衬底的周缘部喷射具有透光性的液体，在衬底的周缘部和末端摄像部之间充满液体。