公开(公告)号：CN105980612A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201580007863.4

申请日：2015-02-05

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 矢作光敏 ,  木村诚章 ,  辻野润一郎

IPC: C25D17/12 ,  C25D17/00

CPC classification number: C25D17/10 ,  C25D17/00 ,  C25D17/001 ,  C25D17/002 ,  C25D17/04 ,  C25D17/06

Abstract: 本发明提供一种防止配置有阳极的内部空间与外部空间之间的添加剂及黑膜(Black film)扩散的阳极保持器及具备该阳极保持器的镀覆装置。本发明的阳极保持器(60)具有：用于收容阳极的内部空间(61)；以覆盖内部空间(61)前面的方式构成的隔膜；形成于阳极保持器的外表面，并与内部空间(61)连通的孔(71)；及用于密封孔(71)的阀门(91)。

公开(公告)号：CN105980612B

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201580007863.4

申请日：2015-02-05

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 矢作光敏 ,  木村诚章 ,  辻野润一郎

IPC: C25D17/12 ,  C25D17/00

Abstract: 本发明提供一种防止配置有阳极的内部空间与外部空间之间的添加剂及黑膜(Black film)扩散的阳极保持器及具备该阳极保持器的镀覆装置。本发明的阳极保持器(60)具有：用于收容阳极的内部空间(61)；以覆盖内部空间(61)前面的方式构成的隔膜；形成于阳极保持器的外表面，并与内部空间(61)连通的孔(71)；及用于密封孔(71)的阀门(91)。