-
公开(公告)号：CN1380447A
公开(公告)日：2002-11-20
申请号：CN02102704.8
申请日：2002-01-23
IPC: C25F1/02
Abstract: 一种电化学加工设备,包括:一个加工室,用来容纳超纯净水;一个阴极/阳极,浸在加工室内的超纯净水中;以及一个工件保持器,用来将工件保持在距离阴极/阳极的一个预定距离上,使工件的加工表面与超纯净水相接触。这种电化学加工设备还包括:一个阳极/阴极接触面,与被工件保持器所保持的工件相接触,从而,工件起阳极/阴极的作用;一种催化剂,具有强碱性阴离子交换功能或强酸性阳离子交换功能;一个电源,用来在阴极/阳极与工件之间施加一个电压;以及一个运动机构,用来使工件和催化剂实现相对运动。催化剂是设置在阴极/阳极与被工件保持器所保持的工件之间。
-
公开(公告)号：CN1313648C
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN02102704.8
申请日：2002-01-23
Abstract: 一种电化学加工设备，包括：一个加工室，用来容纳超纯净水；一个阴极/阳极，浸在加工室内的超纯净水中；以及一个工件保持器，用来将工件保持在距离阴极/阳极的一个预定距离上，使工件的加工表面与超纯净水相接触。这种电化学加工设备还包括：一个阳极/阴极接触面，与被工件保持器所保持的工件相接触，从而，工件起阳极/阴极的作用；一种催化剂，具有强碱性阴离子交换功能或强酸性阳离子交换功能；一个电源，用来在阴极/阳极与工件之间施加一个电压；以及一个运动机构，用来使工件和催化剂实现相对运动。催化剂是设置在阴极/阳极与被工件保持器所保持的工件之间。
-
公开(公告)号：TW521016B
公开(公告)日：2003-02-21
申请号：TW090116327
申请日：2001-07-04
Applicant: 荏原製作所股份有限公司 , 森勇藏
IPC: B23H
Abstract: 本發明提供一種電化學加工裝置包括用以容納超純水之加工箱、浸漬於裝在加工箱之超純水中之陰極/陽極以及用於支撐工件使間隔陰極/陽極一預定距離之工件支撐部分，以使工件之待加工表面得以與超純水接觸。該電化學加工裝置更包括與工件支撐部分所支撐之工件接觸之陽極/陰極接點，以使工件作為陰極、具有強鹼陰離子交換功能或強酸陽離子交換功能之催化劑、施用電壓於陰極/陽極與工件間之電源以及用以相對移動工件與催化劑之移動機構。該催化劑放置於陰極/陽極與由工件支撐部分所支撐之工件之間。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种电化学加工设备包括用以容纳超纯水之加工箱、浸渍于装在加工箱之超纯水中之阴极/阳极以及用于支撑工件使间隔阴极/阳极一预定距离之工件支撑部分，以使工件之待加工表面得以与超纯水接触。该电化学加工设备更包括与工件支撑部分所支撑之工件接触之阳极/阴极接点，以使工件作为阴极、具有强碱阴离子交换功能或强酸阳离子交换功能之催化剂、施用电压于阴极/阳极与工件间之电源以及用以相对移动工件与催化剂之移动机构。该催化剂放置于阴极/阳极与由工件支撑部分所支撑之工件之间。
-
公开(公告)号：TW531460B
公开(公告)日：2003-05-11
申请号：TW089117549
申请日：2000-08-25
Applicant: 森勇藏 , 荏原製作所股份有限公司
IPC: B23H
Abstract: 本發明係關於一種電解式加工方法，該方法包括將陽極當作料件(workpiece)，陰極則以預定之距離與陽極相對，且將二者置於超純水中。將會促進超純水分解且具有水可滲透性之催化性材料置於料件與陰極之間。在催化材料內部形成超純水流，同時施加電壓於料件與陰極間，將超純水中之水分子分解成氫離子與氫氧根離子，且將所得氫氧根離子供給至料件表面上，因而可經由氫氧根離子產生之化學溶解反應或氧化反應，進行料件表面移除處理或在料件上形成氧化物薄膜。因此，可藉由使用超純水中之氫氧根離子進行清潔處理，且不會有雜質留在料件之經處理表面下方。
Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于一种电解式加工方法，该方法包括将阳极当作料件(workpiece)，阴极则以预定之距离与阳极相对，且将二者置于超纯水中。将会促进超纯水分解且具有水可渗透性之催化性材料置于料件与阴极之间。在催化材料内部形成超纯水流，同时施加电压于料件与阴极间，将超纯水中之水分子分解成氢离子与氢氧根离子，且将所得氢氧根离子供给至料件表面上，因而可经由氢氧根离子产生之化学溶解反应或氧化反应，进行料件表面移除处理或在料件上形成氧化物薄膜。因此，可借由使用超纯水中之氢氧根离子进行清洁处理，且不会有杂质留在料件之经处理表面下方。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.038 seconds)
