公开(公告)号：CN108603094A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201780008437.1

申请日：2017-01-23

Applicant: 株式会社ADEKA

Inventor： 三宅惇哉 ,  竹内良智 ,  佐藤直美 ,  木村健太郎

IPC: C09K3/00 ,  G03F7/004

CPC classification number: C09K3/00 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供产酸温度高的热产酸剂及使用其的抗蚀剂组合物。一种磺酸衍生物化合物，其由下述通式(I)(式(I)中，R1表示碳原子数1～18的脂肪族烃基等或下述通式(II)(通式(II)中，Y1表示单键或碳原子数1～4的烷二基，R11和R12各自独立地表示碳原子数2～6的烷二基等，R13表示碳原子数1～18的直链或支链烷基等，a、b表示0或1，a、b中的任一者为1。)所示的基团，R2～R7各自独立地表示碳原子数1～14的直链或支链烷基等，R1中的脂肪族烃基等不具有取代基、或被卤素原子等取代，R1中的脂肪族烃基等中的亚甲基结构可以被-O-等取代。)表示。