肟酯化合物和含有其的光聚合引发剂

    公开(公告)号:CN112004800A

    公开(公告)日:2020-11-27

    申请号:CN201980027228.0

    申请日:2019-06-27

    Abstract: 提供作为聚合性组合物中使用的光聚合引发剂有用的肟酯化合物和含有其的光聚合引发剂。一种化合物,其在同一分子内具有下述通式(I)所示的基团、和不具有肟酯基的光自由基裂解性基团,通式(I)中,R1和R2各自独立地表示氢原子、卤素原子、硝基、氰基等,R1和R2所示的基团中的氢原子的1个或2个以上任选被卤素原子、硝基、氰基等所取代,R1和R2所示的基团中的亚甲基的1个或2个以上在氧不相邻的条件下任选被‑O‑、‑CO‑、‑COO‑、‑OCO‑、‑NR3‑等所取代,R3表示氢原子、碳原子数1~20的烃基,n表示0或1,*表示原子键。

    热产酸剂及使用其的抗蚀剂组合物

    公开(公告)号:CN108603094A

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201780008437.1

    申请日:2017-01-23

    CPC classification number: C09K3/00 G03F7/004

    Abstract: 本发明提供产酸温度高的热产酸剂及使用其的抗蚀剂组合物。一种磺酸衍生物化合物,其由下述通式(I)(式(I)中,R1表示碳原子数1~18的脂肪族烃基等或下述通式(II)(通式(II)中,Y1表示单键或碳原子数1~4的烷二基,R11和R12各自独立地表示碳原子数2~6的烷二基等,R13表示碳原子数1~18的直链或支链烷基等,a、b表示0或1,a、b中的任一者为1。)所示的基团,R2~R7各自独立地表示碳原子数1~14的直链或支链烷基等,R1中的脂肪族烃基等不具有取代基、或被卤素原子等取代,R1中的脂肪族烃基等中的亚甲基结构可以被-O-等取代。)表示。

    肟酯化合物和含有其的光聚合引发剂

    公开(公告)号:CN112004800B

    公开(公告)日:2024-12-03

    申请号:CN201980027228.0

    申请日:2019-06-27

    Abstract: 提供作为聚合性组合物中使用的光聚合引发剂有用的肟酯化合物和含有其的光聚合引发剂。一种化合物,其在同一分子内具有下述通式(I)所示的基团、和不具有肟酯基的光自由基裂解性基团,通式(I)中,R1和R2各自独立地表示氢原子、卤素原子、硝基、氰基等,R1和R2所示的基团中的氢原子的1个或2个以上任选被卤素原子、硝基、氰基等所取代,R1和R2所示的基团中的亚甲基的1个或2个以上在氧不相邻的条件下任选被‑O‑、‑CO‑、‑COO‑、‑OCO‑、‑NR3‑等所取代,R3表示氢原子、碳原子数1~20的烃基,n表示0或1,*表示原子键。#imgabs0#

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