公开(公告)号：JP5020547B2

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：JP2006155306

申请日：2006-06-02

Applicant: 株式会社Sen

Inventor： 貴典 八木田 ,  光国 月原 ,  寿樹 泉谷 ,  隆之 黒田

IPC: H01L21/265 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/31701 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771 ,  Y10S359/90

公开(公告)号：JP4533112B2

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：JP2004345230

申请日：2004-11-30

Applicant: 株式会社Sen

Inventor： 一成 上田 ,  信 佐野 ,  宏 川口 ,  博 曽我部 ,  光国 月原 ,  道朗 杉谷 ,  純一 村上 ,  光昭 椛澤 ,  隆之 黒田

IPC: H01J37/20 ,  C23C14/48 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J49/26 ,  H01J37/026 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0041