公开(公告)号：CN105874559B

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201480071804.9

申请日：2014-11-14

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： M.J-J.维兰德 ,  W.H.乌尔巴努斯

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12

CPC classification number: G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/026 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3175 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/1215 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30472

Abstract: 本发明涉及一种准直器电极堆叠(70)，其包括：至少三个准直器电极(71‑80)，其用于准直沿着光轴(A)的带电粒子束(54)，其中每个准直器电极包括具有电极孔的电极主体，电极孔用于允许带电粒子束通过，其中电极主体沿着与光轴基本上平行的轴向方向(Z)间隔开，并且其中电极孔沿着所述光轴同轴地对准；以及多个间隔结构(89)，其被设置在每一对相邻准直器电极之间并且由电绝缘材料制成，多个间隔结构(89)用于沿着所述轴向方向以预定距离来定位准直器电极。准直器电极(71‑80)中的每一个电连接至单独的电压输出端(151‑160)。本发明还涉及一种操作带电粒子束产生器的方法。

公开(公告)号：CN108604781A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201680080761.X

申请日：2016-11-01

Applicant: 伊利诺斯工具制品有限公司

Inventor： 彼得·格夫特

IPC: H01T23/00

CPC classification number: H01J37/026 ,  H01J37/3002 ,  H01J2237/0041 ,  H01T19/00 ,  H01T23/00

Abstract: 公开了一种自清洁线性(300)电离器，该自清洁线性电离器具有至少一个电离电极(301)、至少一个电极清洁器(315)以及至少两个线轴组件(302、303)。电极具有相对两端并以表面限定了轴向工作长度，该表面产生离子云并在使用过程中产生降解产物。尽管电极的工作长度是固定的，但电极却是可移动的。电极清洁器也是固定的，并选择性地沿电极的工作长度接合电极。电极的相对两端固定至相对的线轴组件，该线轴组件选择性地移动电离电极，从而使得电极清洁器在移动期间从电极移除至少一些表面降解产物。还公开了使用所公开的电离器的方法，这些方法具有可以循环地、交替地或者同时发生的自清洁操作模式及电离操作模式。

公开(公告)号：CN108463872A

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201780006590.0

申请日：2017-01-04

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 麦可·W·奥斯邦 ,  大卫·E·苏若恩 ,  朱利安·G·布雷克

IPC: H01L21/265 ,  H01J37/317 ,  H01L21/425 ,  H01L21/67 ,  H01J37/30 ,  H01J27/02

CPC classification number: H01J37/304 ,  H01J37/026 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/30405 ,  H01J2237/31703 ,  H01L21/265 ,  H01L22/14 ,  H01L22/20

Abstract: 一种离子植入机可包括：静电夹，用以固持衬底；淹没式等离子体枪，产生撞击于所述衬底上的电子通量；以及控制器，耦合至所述淹没式等离子体枪，并包括响应于测量信号而产生控制信号的部件，所述控制信号用以将所述淹没式等离子体枪的操作调整至目标操作水平。在所述目标操作水平上，所述电子通量可包括电子稳定化剂量、电子稳定化浓度，所述稳定化浓度将所述静电夹中的夹电流变化减小至目标值，所述目标值小于当所述淹没式等离子体枪不操作时的夹电流变化的第二值。

公开(公告)号：CN103907004B

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201280051975.6

申请日：2012-10-16

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 三羽贵文 ,  小濑洋一 ,  中泽英子 ,  许斐麻美 ,  渡边俊哉 ,  木村嘉伸 ,  津野夏规

IPC: G01N1/28 ,  G01B15/02 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/261 ,  G01B15/02 ,  G01N23/00 ,  H01J37/026 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0044 ,  Y10T428/24331 ,  Y10T428/261

Abstract: 本发明提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。

公开(公告)号：CN103250228B

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201180055640.7

申请日：2011-10-07

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 彼得·F·库鲁尼西 ,  维克多·M·本夫尼斯特 ,  奥利佛·V·那莫佛斯奇

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/3211 ,  H01J37/026 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32688 ,  H01J2237/03

Abstract: 一种使用于离子布植系统中的等离子体流体枪及其提供方法。等离子体流体枪可包括具有一或多个孔的等离子体腔室(118)、能供应至少一种气体物质至等离子体腔室的气体源、设置于等离子体腔室里的单匝线圈(120)、及用来感应耦合射频电功率以激发等离子体腔室中至少一种气体物质以产生等离子体而耦合至线圈的电源。等离子体腔室的内表面可以是不含金属的材料，且等离子体不可暴露于等离子体腔室里任何含金属的组件。等离子体腔室可包括多个用来控制等离子体的磁铁(126)。出口孔(124)可提供于等离子体腔室中以使得产出等离子体的负电荷粒子能参与离子束，其中离子束为相关离子布植系统的部份。在实施例中，磁铁可被设置在孔的相对侧上，且被用于操纵等离子体的电子。

公开(公告)号：CN102292792B

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201080005105.6

申请日：2010-01-22

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 伯·范德伯格 ,  威廉·迪韦尔吉利奥

IPC: H01L21/265 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/026 ,  H01J37/05 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/055

Abstract: 一种离子注入方法和系统包括束中和以减轻束散，该束散在低能大电流离子束中可能是特别有问题的。束中和部件可以位于其中扩大可能发生的系统中。中和部件包括变化的激励场产生部件，其产生中和离子束的等离子体，由此减轻束散。以变化的频率和/或场强度产生激励场，以维持中和等离子体，同时减轻降低中和等离子体的作用的等离子体壳层的形成。

公开(公告)号：CN101584017B

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200780050095.6

申请日：2007-12-03

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 唐纳·L·史麦特雷克 ,  葛登·C·恩吉尔 ,  拉杰许·都蕾

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/317 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/026 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/31701

Abstract: 揭示离子注入机中束缚电子的装置与方法。所述装置与方法包含：沿离子束路径(30)的至少一部分来定位的磁体的第一阵列(31)以及磁体的第二阵列(32)，所述第一阵列位于所述离子束路径的第一侧上且所述第二阵列位于所述离子束路径的第二侧上，所述第一侧与所述第二侧相反。所述第一阵列中的至少一磁体(302)可具有面向所述第二阵列中的相应磁体(302)的相反磁极的磁极，磁体的所述第一与第二阵列可在所述离子束路径中或附近共同产生勾形磁场以束缚电子。

公开(公告)号：CN101632040A

公开(公告)日：2010-01-20

申请号：CN200880007974.5

申请日：2008-03-17

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 奥岛真吾 ,  关淳一 ,  寺崎敦则

IPC: G03F7/00 ,  B29C45/00 ,  B29C37/00

CPC classification number: B29C35/0888 ,  B29C37/0053 ,  B29C43/003 ,  B29C43/021 ,  B29C43/58 ,  B29C2035/0827 ,  B29C2043/025 ,  B29C2043/3634 ,  B29C2043/5833 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  H01J37/026 ,  H01J2237/0042 ,  H01J2237/0047

Abstract: 一种压印方法包括以下步骤：在模具的压印图案与树脂材料接触或接近的状态下，对基板上所形成的树脂材料进行固化；以及将所述模具从所述固化的树脂材料分开。在以用于使得放置有所述模具和所述固化的树脂材料的气氛中的气体分子离子化的电磁波照射形成所述模具的压印图案的整个区域以及固化的树脂材料的同时，实现所述分开。

公开(公告)号：CN1222197C

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN02154880.3

申请日：2002-12-04

Applicant: 日新电机株式会社

Inventor： 滨本成显

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/32082 ,  C23C14/48 ,  H01J37/026 ,  H01J2237/31701

Abstract: 一种离子束辐照装置配备一等离子体发生器，后者产生一等离子体并将其供给一基底上游一侧附近的一个区域，借此扼制由于离子束辐照所造成的基底表面的充电。把用于产生等离子体的无线电频率电功率供给一等离子体发生器的无线电频率电源是一用于生成通过对一初始无线电频率信号进行调幅而形成的无线电频率电功率的无线电频率电源。

公开(公告)号：CN1473347A

公开(公告)日：2004-02-04

申请号：CN01818486.3

申请日：2001-08-21

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： E·R·哈林顿 ,  V·M·本维尼斯特 ,  M·A·格拉夫 ,  R·D·拉斯梅尔

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/02 ,  H01J37/30 ,  H01J3/40

CPC classification number: H01J3/40 ,  H01J37/026 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个电场发生器(12、14)，用于产生相对于离子束(16)的行进路径(20)的电场(28)。位于电场(28)的一个区域内并且位于离子束(16)中的粒子(66)充电至与离子束(16)相匹配的极性，以便使得电场(28)可以推动带电粒子(66)移出离子束(16)。