公开(公告)号：CN101573601B

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200780035529.5

申请日：2007-09-04

Applicant: 格伦德福斯管理联合股份公司

Inventor： 格特·弗里斯·埃里克森 ,  罗格·德雷乌斯 ,  卡斯滕·克里斯滕森

IPC: G01L19/06 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0042 ,  H01L29/8605

Abstract: 一种用于传感器、特别是用于压力或差压传感器的半导体器件，其由半导体衬底(1)构成，在所述半导体衬底中构造和连接有多个电子元件(3)。所述半导体衬底(1)设有电绝缘层和含金属非晶态保护层。所述非晶态保护层由两个相继气相沉积而成的、具有不同化学成分的含金属层构成。

公开(公告)号：CN101573601A

公开(公告)日：2009-11-04

申请号：CN200780035529.5

申请日：2007-09-04

Applicant: 格伦德福斯管理联合股份公司

Inventor： 格特·弗里斯·埃里克森 ,  罗格·德雷乌斯 ,  卡斯滕·克里斯滕森

IPC: G01L19/06 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0042 ,  H01L29/8605

Abstract: 一种用于传感器、特别是用于压力或差压传感器的半导体器件，其由半导体衬底(1)构成，在所述半导体衬底中构造和连接有多个电子元件(3)。所述半导体衬底(1)设有电绝缘层和含金属非晶态保护层。所述非晶态保护层由两个相继气相沉积而成的、具有不同化学成分的含金属层构成。