公开(公告)号：CN105745173A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201480056975.4

申请日：2014-09-08

Applicant: 格里菲斯大学

Inventor： 弗兰切斯卡·亚科皮 ,  穆赫辛·艾哈迈德 ,  本杰明·沃恩·坎宁

IPC: C01B31/00 ,  C01B31/04 ,  C30B1/00 ,  C30B1/02 ,  B32B9/00

CPC classification number: C30B1/026 ,  B81C1/0038 ,  B81C2201/0197 ,  C01B32/184 ,  C01B32/188 ,  C30B1/10 ,  C30B29/02 ,  H01L21/00 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02447 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02527 ,  H01L21/02614

Abstract: 一种用于形成石墨烯的方法，所述方法包括：将至少两种金属沉积在碳化硅(SiC)的表面上，所述至少两种金属包括至少一种第一金属和至少一种第二金属；以及在使所述至少一种第一金属与碳化硅中的硅反应的条件下加热SiC及第一金属和第二金属，以形成碳和至少一种稳定的硅化物，并且碳在至少一种稳定的硅化物中及在至少一种第二金属中的相应溶解度足够低，使得通过硅化物反应产生的碳在SiC上形成石墨烯层。