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公开(公告)号：CN1054483A
公开(公告)日：1991-09-11
申请号：CN90101025.1
申请日：1990-02-27
Applicant: 森德斯特兰德数据控制公司
Inventor： 杰姆斯·R·伍德罗夫
CPC classification number: G01P15/0802 , F16C11/12 , Y10T428/24298 , Y10T428/24322 , Y10T428/24479
Abstract: 用于加速计之类微力学量传感器中的挠性构件及其制造方法，在传感器中第一部件(124)枢轴式地连接到第二部件(126)上。一方面，本发明提供连接第一和第二部件的第一和第二挠性构件(108，118)，使得能够围绕共同枢轴(128)转动。挠性构件具有一个增大稳定性的交叉式构造。每个挠性构件是通过在晶片的相对表面中蚀刻沟槽(100，102，110，112)来制成的，选择沟槽的位置和深度，使得在沟槽之间形成挠性构件。
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