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公开(公告)号：CN103674395B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201310491438.X
申请日：2013-09-13
Applicant: 森萨塔科技公司
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L19/145 , G01L19/148
Abstract: 本申请公开了一种测量包括用于车辆流体在内的流体压力的压力传感器设备和组装测量流体压力的压力传感器的方法。压力传感器包括用于压力测量的MEMS模具。该MEMS模具附接在玻璃底座元件上。该底座元件经由能够附接在流体容纳腔压力端口的安装框架来机械保持在位。这里的技术提供了MEMS模具与压力传感器的坚固连接，同时从MEMS模具解除热膨胀应力。采用该解除技术，压力测量可靠性和精度都得以改善。由于从MEMS模具解除热膨胀应力，选择传感器密封材料主要考虑自身的鲁棒化学特性，而不是结构特征。这项技术还提供了精确，持久耐用并且成本效率高的压力传感器。
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公开(公告)号：CN103674408A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310582378.2
申请日：2013-09-13
Applicant: 森萨塔科技公司
CPC classification number: G01L19/04 , G01L19/147 , Y10T156/10
Abstract: 本文所公开的技术包括用于包含有车用流体的流体压力测量的系统及方法。压力传感器包括用于压力测量的微机电系统(MEMS)传感器。MEMS传感器被附连到玻璃管，其被压缩地密封到可附连到包含有流体的箱的压力端口的安装框架上。本文所公开的技术在管子与安装框架之间提供气密密封件，以及在MEMS传感器和压力传感器之间提供刚性密封件，同时使来自于MEMS传感器的热膨胀应力解耦。利用这种解耦技术，可改进压力感测的可靠性和准确性，这是因为热膨胀应力被从MEMS传感器解耦。这种技术提供了一种精确、耐用且成本高效的压力传感器。
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公开(公告)号：CN103674408B
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201310582378.2
申请日：2013-09-13
Applicant: 森萨塔科技公司
Abstract: 本文所公开的技术包括用于包含有车用流体的流体压力测量的系统及方法。压力传感器包括用于压力测量的微机电系统(MEMS)传感器。MEMS传感器被附连到玻璃管，其被压缩地密封到可附连到包含有流体的箱的压力端口的安装框架上。本文所公开的技术在管子与安装框架之间提供气密密封件，以及在MEMS传感器和压力传感器之间提供刚性密封件，同时使来自于MEMS传感器的热膨胀应力解耦。利用这种解耦技术，可改进压力感测的可靠性和准确性，这是因为热膨胀应力被从MEMS传感器解耦。这种技术提供了一种精确、耐用且成本高效的压力传感器。
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公开(公告)号：CN103674395A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310491438.X
申请日：2013-09-13
Applicant: 森萨塔科技公司
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L19/145 , G01L19/148
Abstract: 本申请公开了一种测量包括用于车辆流体在内的流体压力的压力传感器设备和组装测量流体压力的压力传感器的方法。压力传感器包括用于压力测量的MEMS模具。该MEMS模具附接在玻璃底座元件上。该底座元件经由能够附接在流体容纳腔压力端口的安装框架来机械保持在位。这里的技术提供了MEMS模具与压力传感器的坚固连接，同时从MEMS模具解除热膨胀应力。采用该解除技术，压力测量可靠性和精度都得以改善。由于从MEMS模具解除热膨胀应力，选择传感器密封材料主要考虑自身的鲁棒化学特性，而不是结构特征。这项技术还提供了精确，持久耐用并且成本效率高的压力传感器。
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