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公开(公告)号：CN104034475B
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201410081215.0
申请日：2014-03-07
Applicant: 森萨塔科技公司
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L1/146 , G01L1/2243 , G01L7/08 , G01L7/082 , G01L9/0016 , G01L9/0042 , G01L9/0044 , G01L9/0047 , G01L9/0054 , G01L9/0072 , G01L9/0073 , G01L9/0075
Abstract: 本发明涉及一种具有自调节特征的压力变换器基体。根据本发明的设备在实施例中包括第一基体。第一基体可以具有用于容纳第一隔膜的第一侧面。第一基体还可以具有第二侧面。第二侧面可以包括多边形凹陷部，其尺寸设定为容纳与第二基体相关的第二隔膜。第一基体和第一隔膜被包含在第一组件中，而第二基体和第二隔膜被含包在第二组件中。第一组件和第二组件可以被包含在堆叠体中，其中第二隔膜的至少一部分设置成配合在该堆叠体中的多边形凹陷部内。
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公开(公告)号：CN103674395B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201310491438.X
申请日：2013-09-13
Applicant: 森萨塔科技公司
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L19/145 , G01L19/148
Abstract: 本申请公开了一种测量包括用于车辆流体在内的流体压力的压力传感器设备和组装测量流体压力的压力传感器的方法。压力传感器包括用于压力测量的MEMS模具。该MEMS模具附接在玻璃底座元件上。该底座元件经由能够附接在流体容纳腔压力端口的安装框架来机械保持在位。这里的技术提供了MEMS模具与压力传感器的坚固连接，同时从MEMS模具解除热膨胀应力。采用该解除技术，压力测量可靠性和精度都得以改善。由于从MEMS模具解除热膨胀应力，选择传感器密封材料主要考虑自身的鲁棒化学特性，而不是结构特征。这项技术还提供了精确，持久耐用并且成本效率高的压力传感器。
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公开(公告)号：CN102331323B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201110148055.3
申请日：2011-06-03
Applicant: 森萨塔科技公司
IPC: G01L9/12
CPC classification number: G01L9/0075 , G01L19/0038 , G01L19/0645
Abstract: 本发明涉及一种流体压力感测装置和一种压力感测元件，所述流体压力感测装置包括具有支撑结构和附接到所述支撑结构的膜的压力感测变送器，所述膜具有流体面对侧。壳体具有由底壁和从所述底壁向上延伸的壳体侧壁限定的变送器接收空腔。所述底壁形成有流体压力接收凹陷。流体压力端口被形成在所述壳体中与所述凹陷连通。所述膜位于所述支撑结构和所述流体压力接收凹陷之间，且围绕支撑结构侧壁的密封材料将所述压力感测变送器固定在所述壳体中且提供密封。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104034475A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410081215.0
申请日：2014-03-07
Applicant: 森萨塔科技公司
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L1/146 , G01L1/2243 , G01L7/08 , G01L7/082 , G01L9/0016 , G01L9/0042 , G01L9/0044 , G01L9/0047 , G01L9/0054 , G01L9/0072 , G01L9/0073 , G01L9/0075
Abstract: 本发明涉及一种具有自调节特征的压力变换器基体。根据本发明的设备在实施例中包括第一基体。第一基体可以具有用于容纳第一隔膜的第一侧面。第一基体还可以具有第二侧面。第二侧面可以包括多边形凹陷部，其尺寸设定为容纳与第二基体相关的第二隔膜。第一基体和第一隔膜被包含在第一组件中，而第二基体和第二隔膜被含包在第二组件中。第一组件和第二组件可以被包含在堆叠体中，其中第二隔膜的至少一部分设置成配合在该堆叠体中的多边形凹陷部内。
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公开(公告)号：CN103674408A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310582378.2
申请日：2013-09-13
Applicant: 森萨塔科技公司
CPC classification number: G01L19/04 , G01L19/147 , Y10T156/10
Abstract: 本文所公开的技术包括用于包含有车用流体的流体压力测量的系统及方法。压力传感器包括用于压力测量的微机电系统(MEMS)传感器。MEMS传感器被附连到玻璃管，其被压缩地密封到可附连到包含有流体的箱的压力端口的安装框架上。本文所公开的技术在管子与安装框架之间提供气密密封件，以及在MEMS传感器和压力传感器之间提供刚性密封件，同时使来自于MEMS传感器的热膨胀应力解耦。利用这种解耦技术，可改进压力感测的可靠性和准确性，这是因为热膨胀应力被从MEMS传感器解耦。这种技术提供了一种精确、耐用且成本高效的压力传感器。
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公开(公告)号：CN103674408B
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201310582378.2
申请日：2013-09-13
Applicant: 森萨塔科技公司
Abstract: 本文所公开的技术包括用于包含有车用流体的流体压力测量的系统及方法。压力传感器包括用于压力测量的微机电系统(MEMS)传感器。MEMS传感器被附连到玻璃管，其被压缩地密封到可附连到包含有流体的箱的压力端口的安装框架上。本文所公开的技术在管子与安装框架之间提供气密密封件，以及在MEMS传感器和压力传感器之间提供刚性密封件，同时使来自于MEMS传感器的热膨胀应力解耦。利用这种解耦技术，可改进压力感测的可靠性和准确性，这是因为热膨胀应力被从MEMS传感器解耦。这种技术提供了一种精确、耐用且成本高效的压力传感器。
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公开(公告)号：CN103674395A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310491438.X
申请日：2013-09-13
Applicant: 森萨塔科技公司
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L19/145 , G01L19/148
Abstract: 本申请公开了一种测量包括用于车辆流体在内的流体压力的压力传感器设备和组装测量流体压力的压力传感器的方法。压力传感器包括用于压力测量的MEMS模具。该MEMS模具附接在玻璃底座元件上。该底座元件经由能够附接在流体容纳腔压力端口的安装框架来机械保持在位。这里的技术提供了MEMS模具与压力传感器的坚固连接，同时从MEMS模具解除热膨胀应力。采用该解除技术，压力测量可靠性和精度都得以改善。由于从MEMS模具解除热膨胀应力，选择传感器密封材料主要考虑自身的鲁棒化学特性，而不是结构特征。这项技术还提供了精确，持久耐用并且成本效率高的压力传感器。
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公开(公告)号：CN102331323A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110148055.3
申请日：2011-06-03
Applicant: 森萨塔科技公司
IPC: G01L9/12
CPC classification number: G01L9/0075 , G01L19/0038 , G01L19/0645
Abstract: 本发明涉及一种流体压力感测装置和一种压力感测元件，所述流体压力感测装置包括具有支撑结构和附接到所述支撑结构的膜的压力感测变送器，所述膜具有流体面对侧。壳体具有由底壁和从所述底壁向上延伸的壳体侧壁限定的变送器接收空腔。所述底壁形成有流体压力接收凹陷。流体压力端口被形成在所述壳体中与所述凹陷连通。所述膜位于所述支撑结构和所述流体压力接收凹陷之间，且围绕支撑结构侧壁的密封材料将所述压力感测变送器固定在所述壳体中且提供密封。
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