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公开(公告)号：CN102498365A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201080041359.3
申请日：2010-07-27
Applicant: 模拟设备公司
IPC: G01C19/5705
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 对于正交误差和微机械加工不准确性的敏感性降低的惯性传感器包括结合用于感测围绕器件平面中的两条正交轴线(敏感性轴线)的旋转的、两个被专门地配置的单一轴线陀螺仪的陀螺仪，其中每一个单一轴线陀螺仪均包括具有被叉子相互连接的两个被以旋转方式颤动的梭子的共振器并且每一个梭子均被配置为沿着垂直于敏感性轴线的倾斜轴线向面外倾斜，并且包括沿着垂直于倾斜轴线(即，平行于敏感性轴线)的轴线定位的相应的科里奥利感测电极。该两个单一轴线陀螺仪可以被例如将叉子和/或梭子相互连接的一个或者多个同相或者反相耦合件相互连接。
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公开(公告)号：CN1954192A
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200580015514.3
申请日：2005-04-14
Applicant: 模拟设备公司
Inventor： 约翰·A·吉恩
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5719 , G01C19/574
Abstract: 一种惯性传感器，其包括布置成线性阵列的至少一对传感元件。各传感元件具有框架和悬置在框架内部的可动质量体。各对传感元件的框架可耦合成，允许框架沿平行轴线彼此反相位移动，但基本上防止框架彼此同相位移动。
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公开(公告)号：CN1954193B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200580015559.0
申请日：2005-04-14
Applicant: 模拟设备公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5719 , G01C19/574
Abstract: 一种耦合设备，其允许惯性传感元件框架反相位运动，但基本上防止框架同相位运动。该耦合设备包括耦合在第一和第二传感元件框架之间的至少一个杆和支撑所述杆的至少一个支撑结构。所述至少一个结构耦合到框架下方的基板上。当框架沿基本上平行的轴线彼此反相位移动时，所述结构允许所述杆绕一枢转点旋转，但基本上防止框架同相位运动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100559122C
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200580015514.3
申请日：2005-04-14
Applicant: 模拟设备公司
Inventor： 约翰·A·吉恩
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5719 , G01C19/574
Abstract: 一种惯性传感器，其包括布置成线性阵列的至少一对传感元件。各传感元件具有框架和悬置在框架内部的可动质量体。各对传感元件的框架可耦合成，允许框架沿平行轴线彼此反相位移动，但基本上防止框架彼此同相位移动。
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公开(公告)号：CN1628238A
公开(公告)日：2005-06-15
申请号：CN03803436.0
申请日：2003-02-06
Applicant: 模拟设备公司
Inventor： 约翰·A·吉恩
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5719 , Y10T74/12
Abstract: 一种显微加工的陀螺仪利用科氏加速度检测并测量绕垂直于该基片表面的轴线的旋转速率。特别是，各种谐振结构悬挂在框架内。该谐振结构包括机械地连接的相位和反相位质量，以便产生用于整个谐振系统的单一谐振频率。该显微加工陀螺仪绕轴线的旋转产生作用在该框架上的旋转力。该框架以这样的方式悬挂，使其除旋转方向之外沿所有方向的运动被严格地限制。在该框架所有边上的传感器检测该框架的旋转的偏转，用于测量方向的变化。
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公开(公告)号：CN101160506A
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200680012422.4
申请日：2006-04-06
Applicant: 模拟设备公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/574
Abstract: 本发明提供了一种包括四个传感器元件的交叉四元结构的惯性传感器。每一个传感器元件具有框架及悬置在框架内的谐振器。布置传感器元件使得允许框架彼此反相移动，但基本防止框架彼此同相移动。这些传感器元件可以以水平接合的布置方式、垂直接合的布置方式或完全接合(即，水平和垂直接合)的布置方式配置。可以垂直接合一对传感器元件。
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公开(公告)号：CN1628238B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN03803436.0
申请日：2003-02-06
Applicant: 模拟设备公司
Inventor： 约翰·A·吉恩
IPC: G01C19/5684
CPC classification number: G01C19/5719 , Y10T74/12
Abstract: 一种显微加工的陀螺仪利用科氏加速度检测并测量绕垂直于该基片表面的轴线的旋转速率。特别是，各种谐振结构悬挂在框架内。该谐振结构包括机械地连接的相位和反相位质量，以便产生用于整个谐振系统的单一谐振频率。该显微加工陀螺仪绕轴线的旋转产生作用在该框架上的旋转力。该框架以这样的方式悬挂，使其除旋转方向之外沿所有方向的运动被严格地限制。在该框架所有边上的传感器检测该框架的旋转的偏转，用于测量方向的变化。
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公开(公告)号：CN1954193A
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200580015559.0
申请日：2005-04-14
Applicant: 模拟设备公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5719 , G01C19/574
Abstract: 一种耦合设备，其允许惯性传感元件框架反相位运动，但基本上防止框架同相位运动。该耦合设备包括耦合在第一和第二传感元件框架之间的至少一个杆和支撑所述杆的至少一个支撑结构。所述至少一个结构耦合到框架下方的基板上。当框架沿基本上平行的轴线彼此反相位移动时，所述结构允许所述杆绕一枢转点旋转，但基本上防止框架同相位运动。
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