公开(公告)号：CN101160506A

公开(公告)日：2008-04-09

申请号：CN200680012422.4

申请日：2006-04-06

Applicant: 模拟设备公司

Inventor： 约翰·A·吉恩 ,  邝锦波

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/574

Abstract: 本发明提供了一种包括四个传感器元件的交叉四元结构的惯性传感器。每一个传感器元件具有框架及悬置在框架内的谐振器。布置传感器元件使得允许框架彼此反相移动，但基本防止框架彼此同相移动。这些传感器元件可以以水平接合的布置方式、垂直接合的布置方式或完全接合(即，水平和垂直接合)的布置方式配置。可以垂直接合一对传感器元件。

公开(公告)号：CN102498365A

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN201080041359.3

申请日：2010-07-27

Applicant: 模拟设备公司

Inventor： 邝锦波 ,  约翰·A·吉恩

IPC: G01C19/5705

CPC classification number: G01C19/5712

Abstract: 对于正交误差和微机械加工不准确性的敏感性降低的惯性传感器包括结合用于感测围绕器件平面中的两条正交轴线(敏感性轴线)的旋转的、两个被专门地配置的单一轴线陀螺仪的陀螺仪，其中每一个单一轴线陀螺仪均包括具有被叉子相互连接的两个被以旋转方式颤动的梭子的共振器并且每一个梭子均被配置为沿着垂直于敏感性轴线的倾斜轴线向面外倾斜，并且包括沿着垂直于倾斜轴线(即，平行于敏感性轴线)的轴线定位的相应的科里奥利感测电极。该两个单一轴线陀螺仪可以被例如将叉子和/或梭子相互连接的一个或者多个同相或者反相耦合件相互连接。

公开(公告)号：CN1954193A

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN200580015559.0

申请日：2005-04-14

Applicant: 模拟设备公司

Inventor： 约翰·A·吉恩 ,  威廉姆·A·克拉克 ,  邝锦波

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/574

Abstract: 一种耦合设备，其允许惯性传感元件框架反相位运动，但基本上防止框架同相位运动。该耦合设备包括耦合在第一和第二传感元件框架之间的至少一个杆和支撑所述杆的至少一个支撑结构。所述至少一个结构耦合到框架下方的基板上。当框架沿基本上平行的轴线彼此反相位移动时，所述结构允许所述杆绕一枢转点旋转，但基本上防止框架同相位运动。

公开(公告)号：CN1954193B

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200580015559.0

申请日：2005-04-14

Applicant: 模拟设备公司

Inventor： 约翰·A·吉恩 ,  威廉姆·A·克拉克 ,  邝锦波

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/574

Abstract: 一种耦合设备，其允许惯性传感元件框架反相位运动，但基本上防止框架同相位运动。该耦合设备包括耦合在第一和第二传感元件框架之间的至少一个杆和支撑所述杆的至少一个支撑结构。所述至少一个结构耦合到框架下方的基板上。当框架沿基本上平行的轴线彼此反相位移动时，所述结构允许所述杆绕一枢转点旋转，但基本上防止框架同相位运动。