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公开(公告)号：CN102338744A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201110204489.0
申请日：2011-07-20
Applicant: 横河电机株式会社
CPC classification number: G01B11/0691 , G01N21/86 , G01N2021/8663
Abstract: 本发明提供一种多通道测光测定装置，其不会产生噪声。该多通道测光测定装置具有：光出射装置，其含有分别由不同的多个频率驱动的多个光源；以及光检测器，其对来自该光出射装置的多束光进行检测，将来自该光检测器的输出按照各个频域进行区分，该多通道测光测定装置的特征在于，使驱动所述光源的不同频率的多个信号通过单个含有高次谐波成分在内的信号发生器一起生成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102338744B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201110204489.0
申请日：2011-07-20
Applicant: 横河电机株式会社
CPC classification number: G01B11/0691 , G01N21/86 , G01N2021/8663
Abstract: 本发明提供一种多通道测光测定装置，其不会产生噪声。该多通道测光测定装置具有：光出射装置，其含有分别由不同的多个频率驱动的多个光源；以及光检测器，其对来自该光出射装置的多束光进行检测，将来自该光检测器的输出按照各个频域进行区分，该多通道测光测定装置的特征在于，使驱动所述光源的不同频率的多个信号通过单个含有高次谐波成分在内的信号发生器一起生成，将所述多个频率按照各个频域进行区分的单元具有下述机构，即，通过使获取的数据的时间窗宽度与调制信号频率的倒数的整数倍一致，从而伎各个调制信号彼此具有正交性。
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公开(公告)号：CN101294795A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200810093249.6
申请日：2008-04-23
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01N21/8422 , G01B11/0625 , G01N21/31
Abstract: 本发明的薄膜厚度测量装置包括：光源，其发射将要照射在多层薄膜上的白光；分光器，其对由于将白光照射在多层薄膜上而得到的反射光进行色散以得到反射光谱；和计算部分，所述计算部分包括：设置部分，其为反射光谱设置多个波长范围；第一转换部分，其通过分别对反射光谱中的处在由所述设置部分设定的多个波长范围内的反射光谱进行等间隔重排序来获得波数范围反射光谱；第二转换部分，其将在所述第一转换部分中得到的多个波长范围内的波数范围反射光谱分别转换成功率谱；以及运算部分，其基于功率谱得到多层薄膜的薄膜厚度。
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公开(公告)号：CN102654454B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210040057.5
申请日：2012-02-20
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01N21/3554 , G01N21/86 , G01N33/34
CPC classification number: G01N21/3554 , G01N21/3559 , G01N21/86 , G01N33/346 , G01N2201/0627 , G01N2201/0631
Abstract: 本发明提供一种红外线分析装置，其使用红外光分析检查对象物的特性，具有：第1测头，其具有多个光源和多边形状的光学元件，上述光源配置在上述检查对象物的一侧，出射应向上述检查对象物照射的波长不同的红外光，上述光学元件配置在该光源和上述检查对象物之间，使从上述多个光源出射的各种红外光多重反射，从而使强度分布均匀化；以及第2测头，其具有检测器，上述检测器配置在上述检查对象物的另一侧，检测经由上述检查对象物的红外光。
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公开(公告)号：CN102654454A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201210040057.5
申请日：2012-02-20
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01N21/35
CPC classification number: G01N21/3554 , G01N21/3559 , G01N21/86 , G01N33/346 , G01N2201/0627 , G01N2201/0631
Abstract: 本发明提供一种红外线分析装置，其使用红外光分析检查对象物的特性，具有：第1测头，其具有多个光源和多边形状的光学元件，上述光源配置在上述检查对象物的一侧，出射应向上述检查对象物照射的波长不同的红外光，上述光学元件配置在该光源和上述检查对象物之间，使从上述多个光源出射的各种红外光多重反射，从而使强度分布均匀化；以及第2测头，其具有检测器，上述检测器配置在上述检查对象物的另一侧，检测经由上述检查对象物的红外光。
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公开(公告)号：CN101294795B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200810093249.6
申请日：2008-04-23
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01N21/8422 , G01B11/0625 , G01N21/31
Abstract: 本发明的薄膜厚度测量装置包括：光源，其发射将要照射在多层薄膜上的白光；分光器，其对由于将白光照射在多层薄膜上而得到的反射光进行色散以得到反射光谱；和计算部分，所述计算部分包括：设置部分，其为反射光谱设置多个波长范围；第一转换部分，其通过分别对反射光谱中的处在由所述设置部分设定的多个波长范围内的反射光谱进行等间隔重排序来获得波数范围反射光谱；第二转换部分，其将在所述第一转换部分中得到的多个波长范围内的波数范围反射光谱分别转换成功率谱；以及运算部分，其基于功率谱得到多层薄膜的薄膜厚度。
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