公开(公告)号：CN112272768A

公开(公告)日：2021-01-26

申请号：CN201980038942.X

申请日：2019-02-22

Applicant: 欧姆龙株式会社 ,  费加罗技研株式会社

Inventor： 多田罗佳孝 ,  本多祐仁 ,  永井宏明 ,  芦原义树 ,  井泽邦之 ,  佐井正和 ,  吉冈谦一

IPC: G01N27/12 ,  B81B1/00 ,  H05B3/03 ,  H05B3/74

Abstract: 微热板在对硅基板的腔进行架设的支持层上设置有电极和加热器。电极包围加热器，且加热器被配置于电极的内侧。微热板的功率效率提高。

公开(公告)号：CN112639454B

公开(公告)日：2025-01-14

申请号：CN202080004640.3

申请日：2020-05-01

Applicant: 费加罗技研株式会社 ,  新宇宙电机株式会社 ,  公立大学法人大阪

Inventor： 竹内雅人 ,  古野纯平 ,  福井健太 ,  吉冈谦一 ,  谷平龙也 ,  佐井正和 ,  谷口卓史 ,  三桥弘和

IPC: G01N27/12 ,  B01J20/22 ,  B01J20/28 ,  C01B33/157 ,  G01N27/16

Abstract: 本发明通过担载有机磺酸的二氧化硅从气氛中的气体中除去硅氧烷化合物，防止气体感应元件中毒。担载有机磺酸的二氧化硅的由氮气吸附法求出的比表面积为500m2/g～750m2/g，细孔容积为0.8cm3/g～1.2cm3/g，由氮气吸附法求出的微分细孔容积的峰值的细孔直径为4nm～8nm。气体感应元件的硅氧烷耐久性提高。

公开(公告)号：CN112352152B

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN201980041505.3

申请日：2019-04-24

Applicant: 费加罗技研株式会社

Inventor： 佐井正和 ,  井泽邦之 ,  河口智博

IPC: G01N27/12

Abstract: 使用在设于基板的空腔的绝缘膜上设有金属氧化物半导体和加热器的MEMS气体传感器。通过由驱动电路以规定的周期且以规定的脉冲宽度使加热器动作，将金属氧化物半导体加热。如果由湿度的检测机构检测到气体环境是高湿度，则驱动电路使加热器的动作停止或将周期延长。

公开(公告)号：CN112703394A

公开(公告)日：2021-04-23

申请号：CN201980053883.3

申请日：2019-07-25

Applicant: 费加罗技研株式会社 ,  新宇宙电机株式会社 ,  公立大学法人大阪

Inventor： 竹内雅人 ,  古野纯平 ,  福井健太 ,  井泽邦之 ,  佐井正和 ,  三桥弘和 ,  谷口卓史

IPC: G01N27/04 ,  G01N27/12

Abstract: 本申请在气体传感器的壳体内收纳有气体检测部，经由安装于壳体的过滤器将壳体外的气氛气导入气体检测部。过滤器具有为透气性且用于除去硅氧烷的有机高分子过滤器以及用于除去醇且使检测对象气体透过的无机过滤器。

公开(公告)号：CN113574369B

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202080021724.8

申请日：2020-03-17

Applicant: 费加罗技研株式会社 ,  国立大学法人福井大学

Inventor： 佐井正和 ,  吉冈谦一 ,  井泽邦之 ,  阪口寿一

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明的气体传感器具备由在主链的双键碳原子上键合有取代基的取代聚乙炔制成的气体分离膜、和检测透过气体分离膜后的气体的传感元件。

公开(公告)号：CN112703395A

公开(公告)日：2021-04-23

申请号：CN201980053885.2

申请日：2019-07-25

Applicant: 费加罗技研株式会社 ,  新宇宙电机株式会社 ,  公立大学法人大阪

Inventor： 竹内雅人 ,  古野纯平 ,  福井健太 ,  井泽邦之 ,  佐井正和 ,  三桥弘和 ,  谷口卓史

IPC: G01N27/12 ,  G01N27/04

Abstract: 在本发明的气体传感器中，在壳体内收纳有气体检测部，经由安装于壳体的过滤器将壳体外的气氛气导入气体检测部。过滤器为具有酸性基团或碱性基团且透气性的有机高分子膜。

公开(公告)号：CN108027342B

公开(公告)日：2020-10-13

申请号：CN201680053909.0

申请日：2016-08-18

Applicant: 费加罗技研株式会社

Inventor： 佐井正和

IPC: G01N27/416

Abstract: 一种电化学气体传感器，其具有高分子固体电解质膜、检测电极、对电极和气体扩散层，该气体扩散层覆盖检测电极并且为导电性且多孔质，所述电化学气体传感器不具备贮水部。而且，对气体扩散层或过滤器的活性炭进行过亲水化。对干燥环境的耐久性提高。

公开(公告)号：CN113574369A

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN202080021724.8

申请日：2020-03-17

Applicant: 费加罗技研株式会社 ,  国立大学法人福井大学

Inventor： 佐井正和 ,  吉冈谦一 ,  井泽邦之 ,  阪口寿一

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明的气体传感器具备由在主链的双键碳原子上键合有取代基的取代聚乙炔制成的气体分离膜、和检测透过气体分离膜后的气体的传感元件。

公开(公告)号：CN112639454A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN202080004640.3

申请日：2020-05-01

Applicant: 费加罗技研株式会社 ,  新宇宙电机株式会社 ,  公立大学法人大阪

Inventor： 竹内雅人 ,  古野纯平 ,  福井健太 ,  吉冈谦一 ,  谷平龙也 ,  佐井正和 ,  谷口卓史 ,  三桥弘和

IPC: G01N27/12 ,  B01J20/22 ,  B01J20/28 ,  C01B33/157 ,  G01N27/16

Abstract: 本发明通过担载有机磺酸的二氧化硅从气氛中的气体中除去硅氧烷化合物，防止气体感应元件中毒。担载有机磺酸的二氧化硅的由氮气吸附法求出的比表面积为500m2/g～750m2/g，细孔容积为0.8cm3/g～1.2cm3/g，由氮气吸附法求出的微分细孔容积的峰值的细孔直径为4nm～8nm。气体感应元件的硅氧烷耐久性提高。

公开(公告)号：CN112352152A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201980041505.3

申请日：2019-04-24

Applicant: 费加罗技研株式会社

Inventor： 佐井正和 ,  井泽邦之 ,  河口智博

IPC: G01N27/12

Abstract: 使用在设于基板的空腔的绝缘膜上设有金属氧化物半导体和加热器的MEMS气体传感器。通过由驱动电路以规定的周期且以规定的脉冲宽度使加热器动作，将金属氧化物半导体加热。如果由湿度的检测机构检测到气体环境是高湿度，则驱动电路使加热器的动作停止或将周期延长。