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公开(公告)号：CN112272768A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201980038942.X
申请日：2019-02-22
Applicant: 欧姆龙株式会社 , 费加罗技研株式会社
Inventor： 多田罗佳孝 , 本多祐仁 , 永井宏明 , 芦原义树 , 井泽邦之 , 佐井正和 , 吉冈谦一
IPC: G01N27/12 , B81B1/00 , H05B3/03 , H05B3/74
Abstract: 微热板在对硅基板的腔进行架设的支持层上设置有电极和加热器。电极包围加热器，且加热器被配置于电极的内侧。微热板的功率效率提高。
