公开(公告)号：CN104718258B

公开(公告)日：2017-08-08

申请号：CN201380053358.4

申请日：2013-08-13

Applicant: 欧洲等离子公司

Inventor： F.勒盖恩 ,  P.马滕斯 ,  E.罗格

IPC: C09D5/24

CPC classification number: C09D5/24

Abstract: 保护部件免受侵蚀和向所述部件上的一个或者多个电接触提供导电性的方法，所述方法包括以下步骤：将所述部件置于腔室中，和通过等离子体沉积由以下前体单体丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或者有机硅烷中的任意一种或者多种形成的聚合物涂层来涂覆所述部件。

公开(公告)号：CN104718258A

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201380053358.4

申请日：2013-08-13

Applicant: 欧洲等离子公司

Inventor： F.勒盖恩 ,  P.马滕斯 ,  E.罗格

IPC: C09D5/24

CPC classification number: C09D5/24

Abstract: 保护部件免受侵蚀和向所述部件上的一个或者多个电接触提供导电性的方法，所述方法包括以下步骤：将所述部件置于腔室中，和通过等离子体沉积由以下前体单体丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或者有机硅烷中的任意一种或者多种形成的聚合物涂层来涂覆所述部件。