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公开(公告)号：CN114341701A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202080061878.X
申请日：2020-09-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光扫描系统具备：反射镜器件、磁铁、温度传感器、以及运算部。运算部基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据，来生成第一电流信号及第二电流信号，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方，第三数据用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化。
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公开(公告)号：CN102272563A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200980154028.8
申请日：2009-12-22
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J5/20 , G01J5/02 , G01J5/024 , G01J2005/068 , H01L27/14 , H01L27/14649
Abstract: 本发明涉及光检测器，提供具有辐射热计元件(11)及参考元件(21)的红外线检测器(1)，其中参考元件(21)包含：辐射热计膜(22)；辐射热计膜(22)的基板侧表面上形成的基板侧绝缘膜(31)；经由基板侧绝缘膜(31)而在辐射热计膜(22)的基板侧表面上形成的由非晶硅构成的散热膜(23)；及与散热膜(23)及基板(10)热连接的由非晶硅构成的多个散热柱(25)，辐射热计膜(22)及基板侧绝缘膜(31)绕转到散热膜(23)中的与基板(10)的表面交叉的侧面而形成。根据如此的红外线检测器(1)，既可有效地减少使用环境的温度变化的影响，且可谋求小型化。
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公开(公告)号：CN114341701B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202080061878.X
申请日：2020-09-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光扫描系统具备：反射镜器件、磁铁、温度传感器、以及运算部。运算部基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、第一数据、第二数据、以及第三数据，来生成第一电流信号及第二电流信号，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方，第三数据用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化。
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公开(公告)号：CN110023724B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201780073822.4
申请日：2017-11-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02 , H01L27/144 , H01L27/146 , H01L31/0248
Abstract: 本发明的光检测器包括基板和膜体，该膜体以与基板的表面之间形成空隙的方式被支承于基板的表面上，膜体包括：隔着沿着线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；具有依赖于温度的电阻的电阻层，电阻层分别与第1配线层和第2配线层电连接；与基板的表面相对的光吸收层；和配置于第1配线层和第2配线层各自与光吸收层之间的隔离层，光吸收层包括：第1区域，其在从基板的厚度方向观察时，在第1配线层的与第2配线层相反的一侧扩展；和第2区域，其在从基板的厚度方向观察时，在第2配线层的与第1配线层相反的一侧扩展。
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公开(公告)号：CN101978246B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN200980109704.X
申请日：2009-03-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01L27/1446 , G01J5/20 , H01L27/14669 , H01L37/00
Abstract: 在具有测辐射热计元件(11)以及基准元件(21)的红外线检测器(1)中，包含：测辐射热计薄膜(22)，与基板(10)的表面分离且被支撑于基板(10)的表面上；散热用金属膜(23)，经由绝缘膜(31)而被形成在测辐射热计薄膜(22)的基板(10)侧的表面上；以及多个金属柱(25)，与散热用金属膜(23)以及基板(10)热性连接，从而可以经由绝缘膜(31)、散热用金属膜(23)、金属柱(25)、基板侧散热用金属膜(24)有效地使由红外线所产生的受光部(22a)的热向基板(10)散热，因而可以正确地仅测定因使用环境的变化而产生的温度变化，有效地降低使用环境的温度变化的影响，并达成小型化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110998254A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880051185.5
申请日：2018-07-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02 , H01L27/144
Abstract: 光检测器具备：基板、配置于基板的表面上的膜体、支承膜体的第一电极柱、支承膜体的第二电极柱。第一电极柱具有：呈现从第一电极焊盘向基板的相反侧扩展的筒状的第一主体部、设置于第一主体部中的基板侧的端部的第一底部、设置于第一主体部中的基板的相反侧的端部的第一凸缘部。在第一凸缘部设置有以越远离第一主体部而越接近基板的方式倾斜的第一倾斜面。第一配线层经由第一倾斜面到达第一主体部的内表面。第二电极柱及第二配线层与第一电极柱及第一配线层一样地形成。
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公开(公告)号：CN110023725A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201780073839.X
申请日：2017-11-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/02 , H01L27/144 , H01L31/0248
Abstract: 本发明的光检测器包括：基板和膜体，该膜体以与基板的表面之间形成空隙的方式被支承于基板的表面上，膜体包括：隔着沿包括曲线部的线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；和具有依赖于温度的电阻的电阻层，电阻层分别与第1配线层和第2配线层电连接，第1配线层的线侧的第1边缘部和第2配线层的线侧的第2边缘部分别连续地延伸。
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公开(公告)号：CN101978246A
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200980109704.X
申请日：2009-03-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01L27/1446 , G01J5/20 , H01L27/14669 , H01L37/00
Abstract: 在具有测辐射热计元件(11)以及基准元件(21)的红外线检测器(1)中，包含：测辐射热计薄膜(22)，与基板(10)的表面分离且被支撑于基板(10)的表面上；散热用金属膜(23)，经由绝缘膜(31)而被形成在测辐射热计薄膜(22)的基板(10)侧的表面上；以及多个金属柱(25)，与散热用金属膜(23)以及基板(10)热性连接，从而可以经由绝缘膜(31)、散热用金属膜(23)、金属柱(25)、基板侧散热用金属膜(24)有效地使由红外线所产生的受光部(22a)的热向基板(10)散热，因而可以正确地仅测定因使用环境的变化而产生的温度变化，有效地降低使用环境的温度变化的影响，并达成小型化。
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公开(公告)号：CN101375140A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200780003604.X
申请日：2007-01-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01L27/14669 , G01J5/04 , G01J5/046 , G01J5/08 , G01J5/0853 , G01J5/12
Abstract: 红外线吸收膜(2)，具备：含有TiN的第一层(21)，及含有Si系化合物的第二层(22)，将从第二层(22)侧入射的红外线的能量变换成热。TiN对比8μm短的波长区域的红外线的吸收率高，另一方面对比8μm长的波长区域的红外线反射率高。因此，在将对长波长区域的红外线的吸收率优异的Si系化合物层层叠在TiN层上时，则可使TiN层中吸收率低的波长区域的红外线在Si系化合物层适当地吸收，同时，可对要透过Si系化合物层的红外线在TiN层的界面反射而回到Si系化合物层。
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公开(公告)号：CN114341702B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202080061969.3
申请日：2020-09-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光扫描系统的制造方法具备：组装各自具备反射镜器件和磁铁的多个装置结构的工序；针对多个装置结构中的各个，获取第一数据以及第二数据的工序，其中，第一数据用于修正相对于电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离的至少一方；针对多个装置结构中的至少一个装置结构，获取用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序；以及将第一数据及第二数据在保持多个装置结构中的各个和第一数据及第二数据的对应关系的状态下保存于存储部，并且将第三数据保存于存储部的工序。
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