公开(公告)号：CN117253884A

公开(公告)日：2023-12-19

申请号：CN202311221800.1

申请日：2018-09-27

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 井上直 ,  小池亮介 ,  中山晴幸

IPC: H01L25/16 ,  H01L31/0203 ,  H01L31/0216

Abstract: 光检测装置具备背面入射型的受光元件、电路元件、连接部件、底部填料、遮光掩模。遮光掩模具有形成有开口的框体和设置于开口的内面的遮光层。开口的电路元件侧的第一开口边缘位于受光元件的外缘的外侧。开口的与电路元件相反侧的第二开口边缘位于受光元件的外缘的内侧。开口从第一开口边缘朝向第二开口边缘缩小。框体的宽度从第一开口边缘朝向第二开口边缘扩大。底部填料到达受光元件和遮光层之间。

公开(公告)号：CN110998254A

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201880051185.5

申请日：2018-07-24

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 山崎理弘 ,  柴山胜己 ,  北浦隆介 ,  小池亮介 ,  田中豪

IPC: G01J1/02 ,  H01L27/144

Abstract: 光检测器具备：基板、配置于基板的表面上的膜体、支承膜体的第一电极柱、支承膜体的第二电极柱。第一电极柱具有：呈现从第一电极焊盘向基板的相反侧扩展的筒状的第一主体部、设置于第一主体部中的基板侧的端部的第一底部、设置于第一主体部中的基板的相反侧的端部的第一凸缘部。在第一凸缘部设置有以越远离第一主体部而越接近基板的方式倾斜的第一倾斜面。第一配线层经由第一倾斜面到达第一主体部的内表面。第二电极柱及第二配线层与第一电极柱及第一配线层一样地形成。

公开(公告)号：CN117253885A

公开(公告)日：2023-12-19

申请号：CN202311221994.5

申请日：2018-09-27

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 井上直 ,  小池亮介 ,  中山晴幸

IPC: H01L25/16 ,  H01L31/0203 ,  H01L31/0216

Abstract: 光检测装置具备背面入射型的受光元件、电路元件、连接部件、底部填料、遮光掩模。遮光掩模具有形成有开口的框体和设置于开口的内面的遮光层。开口的电路元件侧的第一开口边缘位于受光元件的外缘的外侧。开口的与电路元件相反侧的第二开口边缘位于受光元件的外缘的内侧。开口从第一开口边缘朝向第二开口边缘缩小。框体的宽度从第一开口边缘朝向第二开口边缘扩大。底部填料到达受光元件和遮光层之间。

公开(公告)号：CN109659300A

公开(公告)日：2019-04-19

申请号：CN201811132089.1

申请日：2018-09-27

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 井上直 ,  小池亮介 ,  中山晴幸

IPC: H01L25/16 ,  H01L31/0216

Abstract: 光检测装置具备背面入射型的受光元件、电路元件、连接部件、底部填料、遮光掩模。遮光掩模具有形成有开口的框体和设置于开口的内面的遮光层。开口的电路元件侧的第一开口边缘位于受光元件的外缘的外侧。开口的与电路元件相反侧的第二开口边缘位于受光元件的外缘的内侧。开口从第一开口边缘朝向第二开口边缘缩小。框体的宽度从第一开口边缘朝向第二开口边缘扩大。底部填料到达受光元件和遮光层之间。

公开(公告)号：CN109659300B

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN201811132089.1

申请日：2018-09-27

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 井上直 ,  小池亮介 ,  中山晴幸

IPC: H01L25/16 ,  H01L31/0216

Abstract: 光检测装置具备背面入射型的受光元件、电路元件、连接部件、底部填料、遮光掩模。遮光掩模具有形成有开口的框体和设置于开口的内面的遮光层。开口的电路元件侧的第一开口边缘位于受光元件的外缘的外侧。开口的与电路元件相反侧的第二开口边缘位于受光元件的外缘的内侧。开口从第一开口边缘朝向第二开口边缘缩小。框体的宽度从第一开口边缘朝向第二开口边缘扩大。底部填料到达受光元件和遮光层之间。

公开(公告)号：CN110998254B

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN201880051185.5

申请日：2018-07-24

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 山崎理弘 ,  柴山胜己 ,  北浦隆介 ,  小池亮介 ,  田中豪

IPC: G01J1/02 ,  H01L27/144

Abstract: 光检测器具备：基板、配置于基板的表面上的膜体、支承膜体的第一电极柱、支承膜体的第二电极柱。第一电极柱具有：呈现从第一电极焊盘向基板的相反侧扩展的筒状的第一主体部、设置于第一主体部中的基板侧的端部的第一底部、设置于第一主体部中的基板的相反侧的端部的第一凸缘部。在第一凸缘部设置有以越远离第一主体部而越接近基板的方式倾斜的第一倾斜面。第一配线层经由第一倾斜面到达第一主体部的内表面。第二电极柱及第二配线层与第一电极柱及第一配线层一样地形成。