公开(公告)号：CN113424028B

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202080011471.6

申请日：2020-01-17

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  岩崎裕也 ,  港谷恭辅 ,  杉本达哉 ,  户塚弘伦

IPC: G01J3/45 ,  G02B26/06

Abstract: 光模块的信号处理部具有：电压信号控制部，其控制电压信号，以使具有用于使可动反射镜进行谐振动作的频率的电压信号被施加于反射镜器件；强度获取部，其实施强度获取处理。强度获取处理是如下处理，即：在电压信号中连续的P周期中的多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第一时间间隔，获取M次测定光的干涉光的测定光强度，且获取相互对应的同一次的测定光强度的相加值，并且在该多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第二时间间隔，获取N次激光的干涉光的激光强度，且获取相互对应的同一次的激光强度的相加值。

公开(公告)号：CN113424028A

公开(公告)日：2021-09-21

申请号：CN202080011471.6

申请日：2020-01-17

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  岩崎裕也 ,  港谷恭辅 ,  杉本达哉 ,  户塚弘伦

IPC: G01J3/45 ,  G02B26/06

Abstract: 光模块的信号处理部具有：电压信号控制部，其控制电压信号，以使具有用于使可动反射镜进行谐振动作的频率的电压信号被施加于反射镜器件；强度获取部，其实施强度获取处理。强度获取处理是如下处理，即：在电压信号中连续的P周期中的多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第一时间间隔，获取M次测定光的干涉光的测定光强度，且获取相互对应的同一次的测定光强度的相加值，并且在该多个周期的各个周期内，以基于电压信号的频率的第二时间间隔，获取N次激光的干涉光的激光强度，且获取相互对应的同一次的激光强度的相加值。