公开(公告)号：CN101128910A

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：CN200680005811.4

申请日：2006-01-17

Applicant: 点35微结构有限公司

Inventor： A·奥哈拉 ,  M·利维 ,  G·普林格尔

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/32 ,  C23F4/02

CPC classification number: H01J37/32935 ,  B81C1/00476 ,  B81C99/0065 ,  B81C2201/0138

Abstract: 描述一种用于制造位于蚀刻腔体(3)内的微结构(2)(特别是MEMS)的蚀刻监测装置(1)及其相关方法。该装置(1)及其相关方法通过将其中定位了微结构(2)的腔体(3)内的温度设定为起始温度，并且将该腔体(3)内的蚀刻气体分压保持在恒定值来操作。因此，该腔体(3)内的微结构(2)的表面温度主要由蚀刻速率来确定。从而，通过使用温度计(8)监测蚀刻表面温度的变化，提供用于监测蚀刻工艺的直接诊断。