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公开(公告)号:CN101027741A
公开(公告)日:2007-08-29
申请号:CN200580029357.1
申请日:2005-08-31
Applicant: 爱德万测试株式会社
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/032 , B81B2203/0118 , G02B26/0866 , H01H61/02 , H01H2061/006
Abstract: 一种双压电晶片元件,具备:氧化硅层;高膨胀率层,其形成在氧化硅层上且具有较此氧化硅层的热膨胀率还高的热膨胀率;以及变形防止层,其覆盖氧化硅层的表面,以防止氧化硅层由于经常变化所形成的变形。变形防止层变形防止层相对于水份和氧的透过率亦可较氧化硅层还低,变形防止层亦可以是一种以较形成氧化硅层时还高的能量来进行成膜时所形成的氧化硅,变形防止层亦可为氮化硅层或金属层。
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公开(公告)号:CN1228236C
公开(公告)日:2005-11-23
申请号:CN02801401.4
申请日:2002-04-25
CPC classification number: H01H1/0036 , B81B7/007 , B81C2203/031 , H01H61/02 , H01H2061/006 , Y10T29/49105 , Y10T29/49147 , Y10T29/49169
Abstract: 微开关(10),电性连接第1端子(12)及第2端子(14)。微开关(10),包括:第1支持构件(20),设置有第1端子(12);可动部(40),设置有对向于第1端子的第2端子(14);驱动部(50),可通过电力的供给将可动部(40)朝第1端子(12)的方向驱动,以使第2端子(14)跟第1端子(12)接触;电极(22),设置于第1支持构件(20),用以供给电力于驱动部(50);弹性端子(54),包括有跟驱动部(50)接合的接合部(54a),和朝既定方向具有弹性的弹性部(54b);以及按压端子(26),跟弹性端子(54)接触,且当在跟电极(22)接合的同时,将弹性部(54b)往既定方向按压。
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公开(公告)号:CN101027741B
公开(公告)日:2010-11-17
申请号:CN200580029357.1
申请日:2005-08-31
Applicant: 爱德万测试株式会社
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/032 , B81B2203/0118 , G02B26/0866 , H01H61/02 , H01H2061/006
Abstract: 一种双压电晶片元件,具备:氧化硅层;高膨胀率层,其形成在氧化硅层上且具有较此氧化硅层的热膨胀率还高的热膨胀率;以及变形防止层,其覆盖氧化硅层的表面,以防止氧化硅层由于经常变化所形成的变形。变形防止层相对于水份和氧的透过率亦可较氧化硅层还低,变形防止层亦可以是一种以较形成氧化硅层时还高的能量来进行成膜时所形成的氧化硅,变形防止层亦可为氮化硅层或金属层。
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公开(公告)号:CN1462257A
公开(公告)日:2003-12-17
申请号:CN02801401.4
申请日:2002-04-25
CPC classification number: H01H1/0036 , B81B7/007 , B81C2203/031 , H01H61/02 , H01H2061/006 , Y10T29/49105 , Y10T29/49147 , Y10T29/49169
Abstract: 微开关(10),电性连接第1端子(12)及第2端子(14)。微开关(10),包括:第1支持构件(20),设置有第1端子(12);可动部(40),设置有对向于第1端子的第2端子(14);驱动部(50),可通过电力的供给将可动部(40)朝第1端子(12)的方向驱动,以使第2端子(14)跟第1端子(12)接触;电极(22),设置于第1支持构件(20),用以供给电力于驱动部(50);弹性端子(54),包括有跟驱动部(50)接合的接合部(54a),和朝即定方向具有弹性的弹性部(54b);以及按压端子(26),跟弹性端子(54)接触,且当在跟电极(22)接合的同时,将弹性部(54b)往即定方向按压。
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