公开(公告)号：CN101939659A

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN200880126262.5

申请日：2008-02-07

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 宫田健

IPC: G01R31/26

CPC classification number: G01R1/07371 ,  G01R1/0483 ,  G01R1/06772

Abstract: 提供一种测试装置中信号衰减较小的种类更换单元。该种类更换单元根据被测试设备的种类安装在测试装置上，插在被测试设备及测试装置之间的信号通道上，包括：插口板，其具有表面及背面并在表面侧接近及隔离被测试设备；以及多个弹簧针，其与被测试设备的连接端子同样配置由插口板支持，且其前端突出于插口板的表面并与被测试设备的连接端子搭接。

公开(公告)号：CN102326243A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN200980157339.X

申请日：2009-02-27

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 坂田宏 ,  宫田健

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/28

CPC classification number: G01R31/2889 ,  G01R1/07371 ,  G01R31/2874 ,  G01R31/2893

Abstract: 本发明公开了一种对在半导体晶片上所形成的多个被测试器件进行测试的测试装置，其具有：探针卡，其在其重叠于半导体晶片的连接面上分别连接至多个被测试器件的接点，且在连接面的背面设置有相对应的多个接点；以及测试头，其通过依序逐次连接于探针卡的多个接点当中的各个部分，来对半导体晶片上的多个被测试器件进行测试。