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公开(公告)号：CN106556975B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201610609096.0
申请日：2016-07-29
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/7055 , G03F7/2059 , H01J37/045 , H01J37/3177 , H01J2237/304
Abstract: 本发明使用多根带电粒子束，减小每根粒子束的照射时机的误差从而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置，其在样品上曝光图案，包括：多个消隐电极，与多根带电粒子束对应设置，根据输入电压而分别切换是否对样品照射对应的带电粒子束；照射控制部，输出用来切换对多个消隐电极分别提供的消隐电压的切换信号；及测量部，针对多个消隐电极分别测量从切换信号的变化到消隐电压的变化为止的延迟量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100580461C
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200680006760.7
申请日：2006-03-02
Applicant: 爱德万测试株式会社
Inventor： 小岛昭二
IPC: G01R19/165
CPC classification number: G01R31/31924
Abstract: 本发明是关于一种电位比较器，包括：输入配线3、4，用于输入从检查物件2所输出的差动信号；高阈值侧分压生成部5，从输入配线3、4分别取入差动信号，且生成输出根据设定的高阈值电位VOH及取入的差动信号的电位的分压，即第1分压及第2分压；高阈值侧电位比较器6，用于导出从高阈值侧分压生成部5所输出的第1分压、第2分压间的大小关系。高阈值侧分压生成部5包括第1分压生成部16及第2分压生成部17，分别生成第1分压与第2分压。其中，高阈值侧分压生成部5所生成的第1分压与第2分压的值使高阈值侧电位比较器6的第1分压、第2分压间的大小关系，对应于正信号·负信号间的电位差和高阈值电位间的大小关系。
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公开(公告)号：CN102197313B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN200980142610.2
申请日：2009-10-15
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: G01R31/28
CPC classification number: G01R31/2874
Abstract: 设置有彼此相对配置的第1测试基板及第2测试基板；设置在所述第1测试基板中的与所述第2测试基板对着的面上，测试被测试器件的第1测试电路；设置在第2测试基板中的与第1测试基板对着的面上，测试被测试器件的第2测试电路；通过密闭第1测试基板及第2测试基板之间的空间，将第1测试电路及第2测试电路密闭在共同的空间内，且在共同的空间填充冷却材料的密闭部。
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公开(公告)号：CN102197313A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200980142610.2
申请日：2009-10-15
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: G01R31/28
CPC classification number: G01R31/2874
Abstract: 设置有彼此相对配置的第1测试基板及第2测试基板；设置在所述第1测试基板中的与所述第2测试基板对着的面上，测试被测试器件的第1测试电路；设置在第2测试基板中的与第1测试基板对着的面上，测试被测试器件的第2测试电路；通过密闭第1测试基板及第2测试基板之间的空间，将第1测试电路及第2测试电路密闭在共同的空间内，且在共同的空间填充冷却材料的密闭部。
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公开(公告)号：CN106556975A
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201610609096.0
申请日：2016-07-29
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/7055 , G03F7/2059 , H01J37/045 , H01J37/3177 , H01J2237/304
Abstract: 本发明使用多根带电粒子束，减小每根粒子束的照射时机的误差从而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置，其在样品上曝光图案，包括：多个消隐电极，与多根带电粒子束对应设置，根据输入电压而分别切换是否对样品照射对应的带电粒子束；照射控制部，输出用来切换对多个消隐电极分别提供的消隐电压的切换信号；及测量部，针对多个消隐电极分别测量从切换信号的变化到消隐电压的变化为止的延迟量。
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公开(公告)号：CN101133333A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200680006760.7
申请日：2006-03-02
Applicant: 爱德万测试株式会社
Inventor： 小岛昭二
IPC: G01R19/165
CPC classification number: G01R31/31924
Abstract: 本发明是关于一种电位比较器，包括：输入配线3、4，用于输入从检查物件2所输出的差动信号；高阈值侧分压生成部5，从输入配线3、4分别取入差动信号，且生成输出根据设定的高阈值电位VOH及取入的差动信号的电位的分压，即第1分压及第2分压；高阈值侧电位比较器6，用于导出从高阈值侧分压生成部5所输出的第1分压、第2分压间的大小关系。高阈值侧分压生成部5包括第1分压生成部16及第2分压生成部17，分别生成第1分压与第2分压。其中，高阈值侧分压生成部5所生成的第1分压与第2分压的值使高阈值侧电位比较器6的第1分压、第2分压间的大小关系，对应于正信号·负信号间的电位差和高阈值电位间的大小关系。
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