公开(公告)号：CN107017142A

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201610958663.3

申请日：2016-10-28

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 阿部智彦 ,  小岛真一

IPC: H01J37/07 ,  H01J37/141 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/14 ,  H01J37/141 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/31774 ,  H01J37/07 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/1405

Abstract: 本发明的目的在于提供小型且分辨率较高的带电粒子束透镜装置、以及带电粒子束柱及带电粒子束曝光装置。提供一种带电粒子束透镜装置，具备：透镜部，形成在使带电粒子束通过的贯通孔的周围，且使带电粒子束收束或扩散；及支撑部，包围透镜部的外周；透镜部的与支撑部相接的外周部分及支撑部的与透镜部相接的内周部分的至少一者具有用来使冷却用流体沿着透镜部的外周流动的槽部。由此，能够提供小型且分辨率较高的带电粒子束透镜装置。